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基于聚焦离子束注入的微纳加工技术研究

作者: 徐宗伟 房丰洲 张少婧 陈耘辉 来源:金属制品 日期: 2022-07-14 人气:1
基于聚焦离子束注入的微纳加工技术研究
提出了聚焦离子束注入(focused ion beam implantation,FIBI)和聚焦离子束XeF2气体辅助刻蚀(gas assisted etching,GAE)相结合的微纳加工技术。通过扫描电镜观察FIBI横截面研究了聚焦离子束加工参数与离子注入深度的关系。当镓离子剂量大于1.4×1017ion/cm2时,聚焦离子束注入层中观察到均匀分布、直径10~15nm的纳米颗粒层。以此作为XeF2气体反应的掩膜,利用聚焦离子束XeF2气体辅助刻蚀(FIB-GAE)技术实现了多种微纳米级结构和器件加工,如纳米光栅、纳米电极和微正弦结构等。结果表明该方法灵活高效,很有发展前途。

离子注入掺杂锐钛矿TiO2薄膜的光学性能

作者: 常丹 陈猛 向霞 居勇峰 祖小涛 来源:强激光与粒子束 日期: 2022-06-20 人气:3247
离子注入掺杂锐钛矿TiO2薄膜的光学性能
在玻璃基体上,采用射频磁控溅射方法在不同的基体温度下制备了TiO2薄膜,然后在薄膜中注入注量分别为5×10^16,1×10^17和5×10^17/cm^2的N离子以制备N掺杂的TiO2薄膜。X射线衍射结果表明:制备出的TiO2薄膜为锐钛矿型。X射线光电子能谱研究结果表明:注入的N离子与TiO2晶粒相互作用,形成了含氮的TiOxN2-x化合物,从而改变了TiO2薄膜的吸收边;随N离子注量增加,吸收边移动更明显;同时.由于氮离子注入产生的辐照缺陷使TiO2薄膜在紫外和可见光区的吸收也明显增强。

离子注入改性聚合物光电性能的研究进展

作者: 李宝铭 程雷 郑玉婴 来源:有色设备 日期: 2022-05-27 人气:3
离子注入改性聚合物光电性能的研究进展
近些年来,离子注入改性聚合物在光学和电学领域的应用研究越来越受到人们广泛的关注。文章首先简要介绍了离子注入改性聚合物的基本原理,然后详细地综述了离子注入对聚合物的电导率、光学吸收特性、光学禁带宽度和非线性光学性能的影响。

离子注入在模具表面改性处理技术中的应用

作者: 谢斌 赵怀红 蒋伟 来源:机械工程师 日期: 2020-07-21 人气:56
离子注入在模具表面改性处理技术中的应用
文中在对模具表面处理性能要求研究的基础上,分析了离子注入工艺过程特点,提出了把离子注入这一先进的制造工艺技术应用到模具表面的改性上,并通过N^+离子注入模具工具钢的大量实验验证了此方法的可行性,在实际应用中获得了良好改性效果和经济效益。

用离子注入法强化1Cr18Ni9Ti不锈钢卡套的研究

作者: 杜中瑞 来源:流体工程 日期: 2020-06-11 人气:133
用离子注入法强化1Cr18Ni9Ti不锈钢卡套的研究
<正> 卡套式管接头以其结构简单、密封可靠、装卸方便而被广泛应用于石油化工、轻工、医药、食品、原子能、机械等领域中。它与焊接结构的管接件相比,更有其突出的优点。卡套式管接头的型式种类很多,基本结构是由接头体,卡套、螺母三个基本零件组成(见图1),其中主要零件是卡套。

用N^+离子注入改善柱塞式液压泵配流副的摩擦学特性

作者: 刘盛 尹克里 来源:现代机械 日期: 2019-10-09 人气:189
用N^+离子注入改善柱塞式液压泵配流副的摩擦学特性
研究了N^+离子注入的表面改性处理对柱塞式液压泵配流副的摩擦系数,粘着磨损及抗胶合能力的影响,试验证明经调质氮化后的25Cr3MoA钢再作N^+离子注入后具有较满意的摩擦学性能。
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