基于敏感元件的特性本文设计出了一种MEMS加速度计敏感元件特性测试仪，即利用电容检测电路和基于虚拟仪器的频谱测试仪对MEMS敏感元件的频谱特性进行测试而得出其重要性能参数。电容检测电路和虚拟仪器频谱测试仪分别在实验室内进行了误差分析，电容检测电路的最大非线性误差为0．1277％，频率特性测试仪的幅值最大误差为0．3526 dB，相位最大误差为1．3656°。

介绍了一种简易径向位移引伸计的结构及设计方法,根据其一次敏感元件的力学模型,推导了一次敏感元件的灵敏度.利用电阻应变测量技术,对自行设计的一套以65Mn薄钢片为一次敏感元件的引伸计进行了标定,实验表明:引伸计具有较高的灵敏度和线性度.与计算值相比,灵敏度误差仅为0.8%.该引伸计可用于内压循环弯曲管道及类似构件的径向变形的测量.

采用一种智能型测力仪，实现对微小力的测量。本文介绍了一种以MSP430F149单片机为核心的传感器系统，并给出了硬件框图及程序流程图。整个系统具有体积小、精度高和响应速度快等特点。

论述了一种非本征法布里-珀罗光纤应变传感器.采用透明弹性聚合物薄膜作为法布里-珀罗干涉腔,聚合物固定在多膜光纤末端作为应变敏感元件.传感器的分辨率为2μm,测量精度在0～5000μm范围内为5μm.