介绍了硅躲开扭摆式静电力平衡加速度的计的工作原理、结构设计、制备技术及测试方法，这对于研制硅躲开加速度计具有一定的参考价值。

首先介绍了硅微加速度计机械部分的工作原理及电容检测方法,同时分析了整个电路系统框图,然后构建出硅微加速度计系统总体结构,并将机械部分和电路部分在S域进行统一整合.利用MATLAB软件控制工具研究了校正环节时系统稳定性和动态性能的影响情况.通过大量实验给出了优化参数组合下的开环频率特性和零位漂移特性.最后得出结论:通过对重要校正环节的参数进行正确的调整可以很好地改善系统工作性能,并能提高系统输出的稳定性.

应用ANSYS软件对MEMS器件——八悬臂梁硅微加速度计的横向灵敏度进行了仿真。仿真时分别在此器件的X轴、Y轴、Z轴单独加一个加速度，分析另外两个轴的输出，便可以得出其横向灵敏度。依据仿真结果，可先求出各个输出轴对应的梁的应力，即可算出其电阻的变化量，从而计算出输出轴的输出电压。

研究了微加速度计的电容变化率为１０＾－７～１０＾－８旱的微弱输出信号的 是微机械器件研制中具有普遍性的技术难点。在研究检测微小电容变化量的积分电路的基础上，进一步采用了可抑制低频噪声和漂移的相关双采样技术，以及抑制由开关的电荷注入引起的误差的技术。这些全新的技术思路和措施可望达到１０＾－７～１０＾－８的电容变化率的目的。

扭摆式硅微加速度计量种用于测量运动物体加速度的微型惯性器件，在许多领域都有极其广泛的应用，是当今微米／纳米技术发展的一个主要方向。本文论述了结构组成，分析工作机理，探讨了提高灵敏度的途径，最后给出了制造工艺和测试结果。

介绍一种悬臂梁式硅微加速度计的结构与工作原理,并利用ANSYS软件进行了仿真模拟.采用体硅"无掩膜"腐蚀技术,对设计出的敏感芯片进行了工艺试制.通过合理的设计,使挠性梁腐蚀区域侧面上产生(311)面,通过控制所产生的(311)面对(111)面的侵削作用,获得了所需结构.为提高灵敏度和线性,该加速度计采用静电力反馈闭环控制方式,检测与处理电路采用高精度双极线性电路工艺进行了工艺流片.利用多芯片组装工艺进行了敏感芯片与一次集成的检测和处理电路的混合封装.经测试硅微加速度计性能为量程±50g,分辨率3×10-3g,非线性<5×10-4,质量为9.6g.

针对隧道效应对位移具有极高灵敏度的特点,设计了一种隧道式硅微加速度计.在介绍其结构和工作原理的基础上,提出了一种新的加工工艺,由该工艺制作的第一批器件成功地观测到隧道效应.