采用磁控溅射法在304不锈钢表面制备双元复合涂层MoS2/Al。采用EDS、扫描电子显微镜(SEM)、三维表面轮廓仪、摩擦磨损试验机等设备对涂层的摩擦学行为进行研究。结果表明,涂层的平均摩擦系数随着载荷的升高呈现下降趋势。载荷为2N时涂层的摩擦系数最高,达到0.34左右,载荷为20N时涂层的摩擦系数最低,约为0.21。对比单元MoS2涂层可以发现,铝元素的加入提高了涂层的韧性与涂层的摩擦性能,MoS2/Al复合涂层的破坏机制主要为裂纹的萌生和涂层的片状剥落。

采用柱状靶磁控溅射系统制备Al/AlN纳米多层膜,采用纳米压痕仪测量Al/AlN纳米多层膜的纳米硬度,在UMT-2M型摩擦磨损试验机上评价其摩擦磨损性能.结果表明：当AlN层较厚时,薄膜在很短时间内被磨穿;调节Al/AlN层厚比为2.9/1.1时,薄膜的摩擦磨损性能明显提高;当保持Al/AlN层厚比为2.9/1.1、变化多层膜的调制周期时,薄膜的摩擦系数较低,但硬度较低的薄膜由于承载能力不够,不能够保持优良的摩擦磨损性能.

介绍了一种可应用于X射线Kirkpatrick-Baez（KB）显微镜的光学元件——X射线超反射镜。选用的W和B4C作为镀膜材料，膜对数为20，采用单纯型调优的方法实现了X射线超反射镜设计，用磁控溅射的方法在si基片上完成了W／B4CX射线超反射镜的制备。采用高分辨率X射线衍射仪（8keV）测量了X射线超反射镜的反射特性。制备的X射线超反射镜在掠入射角分别为1．052°和1．143°处，反射角度带宽为0．3°，反射率达到20％，可满足KB型显微镜的要求。

采用高分辨透射电镜技术对两种硬质薄膜（AlTiN多层薄膜和AlCN非晶薄膜）样品的显微结构进行了研究。结果表明：在高速钢基体上制备的AlTiN多层薄膜由两种氮含量交替变化的膜层构成，尽管交替的两层中氮含量不同，但每一单层都为纳米晶包含在非晶点阵中的纳米复合结构，不同之处是低氮含量层中纳米晶密度较小；生长在单晶硅基体（100）晶面上的非晶AlCN薄膜，在膜基界面处硅基体上出现应力畸变层，应力畸变层厚度很薄，约3～5个原子层。比较Si的应变层和非应变区的傅里叶变换结果，片状的应变层产生形状效应，使得傅里叶变换图中斑点沿垂直于片状应变层方向拉长成线状。

金属膜电阻器用的靶材是影响膜质量和电阻器性能的重要因素之一，晶粒细化是炼制致密性靶材的关键。晶粒细化不仅有利于Cr-Si靶材内部组织均匀化，且能降低其韧脆转变温度，从而使炼制的靶材强度和硬度高、塑性好，提高靶材的成品率。分析了晶粒细化提高靶材综合性能的原因，并介绍了研究中所采用的Ti细化剂、磁力搅拌等晶粒细化措施。实验表明，在RJ24生产线上溅射的1MΩ金属膜电阻器具有较好的性能，且电阻温度系数均小于20×10^-6／℃。

采用磁控溅射技术制备了无掺杂及掺杂Cr,WC的3种非晶碳膜,通过SEM和XRD对薄膜进行了微观形貌观察及物相分析,利用多功能材料表面性能测试仪测定了薄膜的临界破坏载荷,利用HSR-2M摩擦磨损试验机测试了薄膜在乏油环境下的摩擦学性能,并对试验后的薄膜进行了微观分析。结果表明在乏油环境下,3种碳膜具有较低的摩擦因数和良好的抗磨性能,随着滑动速度的提高,3种非晶碳膜的摩擦因数逐渐降低;掺杂Cr提高了薄膜的磨损寿命;掺杂WC降低了薄膜与基体的临界破坏载荷及薄膜的磨损寿命。

目的提高刀具耐磨性能，延长刀具材料的使用寿命，减小刀具在加工过程中的磨损。方法采用射频磁控溅射法在高速钢刀具表面沉积CrN涂层，用XRD、FESEM等分析涂层的组织结构与微观形貌，用X射线谱仪（EDS）测量涂层成分含量及其分布，用划痕仪测定膜基结合力，用球-盘磨损仪进行磨损实验。探讨不同摩擦条件下涂层的耐磨性能，探究不同摩擦条件对未镀膜刀具与镀膜刀具摩擦学性能的影响，对比分析摩擦系数、磨痕深度、磨痕宽度随参数变化的规律。结果磁控溅射制备出结构致密、轮廓清晰、表面平整度趋于光滑的CrN涂层，涂层呈现三角锥形貌，具有明显的CrN(111)择优取向，膜基结合力为31.6 N。磨损试验表明，高载荷条件下（载荷5 N），未镀膜刀具磨损较严重，磨痕颜色较深，磨痕深度与宽度分别为27.6、980.2μm，摩擦系数为0.498。镀膜刀具磨痕...

采用磁控溅射在镍基合金718基底上沉积了8μm银基自润滑涂层,用XRD对涂层相结构进行表征;在真空条件下对不同温度下涂层的摩擦磨损性能进行研究;用扫描电镜SEM及能谱仪EDS对磨痕形貌和成分进行观察测试。结果表明：所制备的银固体润滑涂层结晶良好,涂层表面均匀致密,与基底结合性能良好,晶粒尺寸约为200nm;银涂层具有良好的摩擦磨损性能,常温25℃下磨痕呈较深的犁沟状,磨损机制以磨粒磨损和黏着磨损为主; 0℃时,涂层表层内部局部地方出现裂纹和孔洞,发生了严重磨损;-50℃时,摩擦因数最低,磨损量最小,一层光滑且较软的银基润滑膜生成并粘附在硬质摩擦副表面,增加了润滑效果,磨损机制以轻微的黏着磨损为主;温度继续降低到-100℃时,磨痕表面重新出现犁沟状痕迹,磨损机制主要以脆性断裂的剥层磨损为主。

探究Al含量对Cr-Al涂层的抗高温氧化性能影响,得到最适合Cr-Al涂层的Al元素量,通过磁控溅射沉积技术在锆合金表面制备了4~6μm的铬铝涂层。研究了Al、Cr0.5Al0.5、Cr0.9Al0.1、Cr四种涂层在600℃静态空气环境中氧化270min,测试涂层对锆合金抗高温氧化的防护作用。结果表明:铬铝涂层对锆合金具有较好的抗高温氧化性能,其中Cr涂层较其他三种抗高温氧化性能最佳。