<正> 近期,随着光电子、海量存储、半导体以及生物医学的快速发展,人们对具有高分辨率、长期稳定性的运动控制系统的要求越来越高。过去,应用在光学领域的运动控制系统主要依靠步进电机、直流伺服电机和铁电致动器(主要是指压电晶体或是电致伸缩体)。这些装置由于具有高的重复精度和高的自动化程度,因而主要应用在装配生产线及机械加工过程中。

<正> 1 前言光学元件表面的几何形状可以通过干涉测量法非常精确的检测出。一个从所周知的例子就是应用玻璃样板来检测球面。数字化的干涉测量法通常用来获得数值化的检测结果。近来,用来测量圆柱透镜的干涉测量仪器已投入使用。尽管针对平面、球面和二次曲而已有相应的检测方法,但为了获得精确的结果所有的干涉仪都得进行校准。

<正> 1 引言为了测量大口径望远镜的次镜,亚利桑那大学研究出应用计算机生成的全息图(简称CGH)和检测板测量非球面的技术。在测量凸非球面时采用参考面是凹球面的全口径检测板,反射镜中非球面偏离离通过加工到检测板上的计算机生成的全息图来补偿。在Steward Observatory Mirror天文望远镜实验室中,设计并研制出可对小于等于直径为1.8m的凸非球面反射镜检测并制作全息图的

本文从液压力大小与钢管外径变形量成正比的概念出发，提出了采用变间距式电容传感器测量液压力。不需开测压孔，并对该测压仪的机械部分进行了设计计算，对误差进行了分析，说明该测压仪适合于工程机械和矿山机械液压系统的故障诊断测试。图３，表２，参３。

超高精度位置拉制器广泛应用于半导体生产、测量及精密杉撇设备中。许多设备都采用压电致动器(PZTs)，因为它具有高分辨率、刚度好、响应快等特性。然而压电致动器的行程极短，为此，这种致动器往往与其它行程长的致动器结合使用。结果造成该简单机构难以实现长行程的超高精度位置控制。大家熟知的天镬(i，:ehwornl)位置控制器是一种高分辨率、长行程的简单机构.但是它的运动是断续的，这是由于天蝮方法仅用一对进给致动器，夹持和进给运动不能同时进行，而是顺序的，即当一个夹持致动器夹紧导轨时，进给致动器必须停止执行，然后夹持致动器放松导轨。这样顺序地工作。另一种仅用一个致动器采用快速变形方法实现高分辨率、长行程的机构，但是它的运动也是间断的。上述方案中的运动均为不连续的。这是许多应用，诸如精密机械工...

用变量叶片京代替齿轮泵作重型工程机械和矿山机械的转向油泵，能较好地满足平稳转向的稳流要求。本文阐述了该泵的稳流原理，推导了稳流泵的流量公式。该系在转速变化很大（500～2200r／min）的条件下，其流量增长率小于15％，这一稳流特性，正是转向用油泵的理想需求。