多晶硅微机械抗粘附结构参数设计
讨论了在大气环境或有液体的环境下,表面张力对微加工悬臂梁结构粘附的影响,以及真空条件下Casimir量子力对微机械薄膜微腔结构的稳定性和粘附的影响.建立了Casimir量子力作用下粘附问题的实际粗糙模型理论.对不同表面力作用下的抗粘附结构研究结果表明,微悬臂梁和薄膜微腔结构的稳定性和粘附与材料的弹性特性、材料的表面特性、结构的长度、厚度以及构件与基体之间的间隙有关,而与结构的宽度无关.给出了抗粘附结构参数设计的对数坐标图.
复合固体润滑膜在阀门电动传动装置中的应用
SDZH2—10阀门电动装置蜗轮蜗杆分别为ZCuAl9Fe4Ni4Mn2和40Cr,其传动比为70、载荷约为4137N、相对滑动速度为5.3m/s,接触应力大,摩擦时温度达300℃左右、油润滑失效,导致了齿轮表面磨损严重,需要采用固体润滑。采用磷化预处理来提高固体润滑膜和基体的结合力,同时加入钛酸钾晶须来提高膜的强度,3000C和5000C时,加钛酸钾晶须的耐磨寿命分别是未加钛酸钾晶须的2.4倍和3倍。磷化+钛酸钾晶须处理的固体润滑膜(称之为复合固体润滑膜)的耐磨寿命是未磷化处理的3倍,且摩擦系数值只有未磷化处理的1半以下,该复合固体润滑膜在载荷大、滑动速度高、摩擦温度高的极端摩擦状态下,能改善原有的蜗轮蜗杆传动中润滑状况,达到减磨的效果。
水平管束低压降膜蒸发换热特性研究
本文主要对水平管在较低压力的降膜蒸发进行研究,设计了滴淋降膜蒸发试验台,以去离子水为工质,在不同的喷淋流量、温度和压力下,对水平管束进行降膜蒸发传热实验。试验结果表明,在较低过冷度下,管外换热系数和总传热系数随着喷淋流量的增大变化不明显。当过冷度增加时,管外换热系数和总传热系数变小,但随着喷淋流量的增大而明显增大。换热系数随过冷度下降而增加,过冷度为零时,换热系数最大。此外,蒸发器水流量对换热几乎没有影响。
硅油在微圆管道内流动特性的实验研究
随着微机电系统的发展微流动技术作为其重要的分支其研究越来越显得重要.文章主要对硅油在不同的微管内径下的流动规律进行了实验研究以探索微观领域和宏观领域的区别.本实验中采用的介质是高黏度的硅油微管内径分别为50 μm和100 μm管长为40 mm测量了硅油在该微管道中流动的流量和压力特性.在本实验条件下试验结果基本上与宏观流动特性相似流量和液体的压降呈线性关系N-S方程在此实验条件下仍可以适用.
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