相位成像模式是近几年发展起来的一种原子力显微镜的检测模式，该模式可以提供丰富的样品表面纳米尺度信息，是形貌像的有利补充。本文给出了一种应用原子力显微镜轻敲模式的相位检测电路，结构简单，工作可靠稳定。通过实验获得了一些样品的相位像。

扫描近场光学显微镜ＳＮＯＭ自八十年代中期以来获得了的发展，并具有超衍射极限光学分辨率。作为ＳＮＯＭ的关键技术之一，样品与探针间距的控制十分重要而且实现起来比较困难。基于剪切力原理，本文提出了一种新型的样品－针尖间距测控的非光学方法，邓，利用压电陶瓷的压坟电效应，将压电陶瓷分为三部分，分别用地激励探针法动，固定地以及擦在振动变化。该方法的灵敏度很高，可将样吕－针尖的间距控制在３ｎｍ左右，而且廉价，制

应用MI公司最新发展的磁驱动轻敲模式（MAC mode）对体外培养成纤维细胞系3T3细胞进行在位成像研究。分别用力常数为0.95 N/m及0.03 N/m的微悬臂进行磁驱动轻敲模式成像,并与接触模式进行比较。同时研究了固定细胞与活体细胞之间的形貌差异。结果显示,利用上述两种微悬臂探针,磁驱动轻敲模式均可获得高分辨像。与接触模式相比,磁驱动轻敲模式对活细胞的影响较小,在细胞膜表面微结构及细胞内亚结构成像方面,有明显优势。而接触模式由于其施力方式,使活细胞应力纤维应激性绷紧,更适合于对活体细胞应力纤维的成像研究。固定细胞与活细胞表面形貌存在较大差异,在生理环境下,进行活细胞检测更能了解细胞的真实状况。

介绍了一种反射模式近场扫描光学显微镜。该系统以双压电陶瓷片作为控制光纤探针与待测样品之间距离的核心元件，以粘有光纤探针的双压电陶瓷片的第一个谐振频率来驱动光纤探针平行于样品表面振动，采用均方根检测电路测量振动信号的幅度，进而控制光纤探针与样品之间的距离在样品表面的近场范围之内。利用该系统获得了标定光栅和刻录光盘薄膜等样品表面的剪切力形貌图像和反射模式近场光学图像。

传统的以PC机为控制核心的AFM（atomic force microscope）来越无法满足快速成像的要求，具有先进控制系统的高速AFM正成为国内外的一个研究热点。本文介绍了一种以DSP（digital signal processor）为控制核心的AFM系统。在该系统中，自动进针，退针、扫描电压的产生、A／D采样、D／A输出以及数字闭环反馈控制等任务均在DSP控制下完成；在分辨率为．512×512时，可以获得行频55Hz的扫描速度。实验表明，即便在这样高速扫描的情况下，该系统仍具有良好的成像性能。

配扫描电子显微镜的波长色散X射线谱仪(简称WDX或WDS),近来在微观分析领域吸引较多的关注.这其中很大原因是新一代高精度自动聚焦平行光X射线波谱仪的推出.这种波谱仪具有独特紧凑型设计,尺寸小;去掉了传统的罗兰圆光学系统,结构较简单;与扫描电镜的接口和能谱仪的接口一样大,可以安装在绝大多数的扫描电镜上.

本文概述了利用聚焦离子束制备用于近场光学显微镜光纤探针的方法,讨论了探针的锥型刻蚀、孔径控制和特殊结构加工等;论述了聚焦离子束的工作原理和在光纤探针高精度加工方面的优势。利用此技术制备的光纤探针的锥型和针尖孔径精确可控,并具有高光洁度,高通光效率等特点。

扫描透射附件早已有厂家研制生产。就目前所见产品可分为两类.一是在样品台下面加接透射电子探测装置;另一类为简易型，它由一管状样品杯及一个约朽度的反射面构成。显然由于前者增加一套检测装置，不仅仪器结构复杂化且价格也较昂贵;后者虽较简单、利用打在斜面上的透射电子产生二次电子、然后检测成像。但是，由于对散射电子吸收极差且二次电子信号也较微弱，所以成成像质量不好，几十至数百倍图像尚可以，千倍以上则较模糊。因此，这种产品不受用户欢迎，几乎步人淘汰境地。

扫描电子显微镜所成的像是由分解为近百万个的像元逐点依次记录而成的,因而使它在观察表面形貌的同时可进行成分和元素的分析。对于三透镜式扫描电子显微镜,还可以通过电子通道花样进行结晶学研究[1]。近几年,对一台八十年代初国产的BSM-25型扫描电子显微镜作了几方面的改进工作,其中包括高压纹波的减小、高亮度阴极的使用等措施[2,3],使原来15nm的极限分辨率提高到6nm左右;另外在自行研制的YWD-1A型扫描电镜上又进行了低真空条件下的高能电子反射衍射仪研究实验,成功地对一些材料的表面结构进行了分析确定[4]。近来,经过设计,在BSM-25型扫描电镜上安装并调试成功了美国TRACOR NORTHERN公司生产的X线能谱仪。由于安装位置的限制,能谱仪只能在样品处于低位时应用,为此对能谱仪的测量准确性进行了验证。

KYKYZO00型扫描电子显微镜电子光学控制系统的主要特点是:具有自动聚焦、自动消象散、自动对中以及自动亮度和对比度等控制功能。该系统全部采用了数字化电路，利用无级连续调节增强电路的可靠性，保持了一般扫描电镜传统的手动调整功能，实现了自动控制调节透镜的功能。