为获得精密直线运动输出,设计一种压电柔性微驱动系统,系统由压电致动器及柔性微动机构组成,在压电致动器驱动下系统具有亚微米级定位精度。基于柔性铰链导向、传动原理,设计了一种精密柔性微动机构,在此基础上提出了压电柔性微驱动系统设计方案。采用有限元法对系统进行了运动学分析、强度分析、动态分析,分析结果显示,系统具有定位精度高(最大定位误差为0.24μm)、强度性能好、动态性能优良等优势。研究对微驱动系统研究及应用具有一定的参考价值。

本文针对智能梁振动主动控制中，目前压电驱动器输出功率不足的缺点，通过振动模态理论和应变理论及观点，分析推导了智能梁中压电驱动器的最佳贴片位置，弥补了上述压电致动器的出力不足，提高了抑制控制效果，并通过实验验证了上述结论。

柔性铰链以其特殊的性能在精密机械、精密测量、微米技术和纳米技术等领域得到广泛应用.通过对柔性铰链在支撑结构、联接结构、调整机构和测量仪器中的应用,以及柔性铰链与压电致动结合实现超精密位移和定位的典型例子,对柔性铰链的应用作了较全面的介绍.

超高精度位置拉制器广泛应用于半导体生产、测量及精密杉撇设备中。许多设备都采用压电致动器(PZTs)，因为它具有高分辨率、刚度好、响应快等特性。然而压电致动器的行程极短，为此，这种致动器往往与其它行程长的致动器结合使用。结果造成该简单机构难以实现长行程的超高精度位置控制。大家熟知的天镬(i，:ehwornl)位置控制器是一种高分辨率、长行程的简单机构.但是它的运动是断续的，这是由于天蝮方法仅用一对进给致动器，夹持和进给运动不能同时进行，而是顺序的，即当一个夹持致动器夹紧导轨时，进给致动器必须停止执行，然后夹持致动器放松导轨。这样顺序地工作。另一种仅用一个致动器采用快速变形方法实现高分辨率、长行程的机构，但是它的运动也是间断的。上述方案中的运动均为不连续的。这是许多应用，诸如精密机械工...

设计开发了一种结构新颖,制作工艺简单,成本低,综合性能高的烈性药物输注用压电薄膜微型泵,介绍了微泵的结构设计、工作原理和性能测试.微泵具有在出口和人口两个方向上抵抗冲击载荷的能力和互锁的功能,适合于对外界环境要求苛刻的烈性药物输注.微泵不论液体还是气体为工作介质都具有良好的流量特性和较高的可靠性.同心双向阀结构克服了传统的单向阀并联结构两阀间易连通的缺点.高分子聚合物材料和特殊的加工装配工艺使得微泵即使在小批量单件生产的情况下成本依然低廉.因此,该种微泵更加接近实用化,具有广阔的应用前景.