简要回顾了渐开线花键的研究历史和现状,较完整地介绍了近年来渐开线花键技术新的发展和应用。主要包括渐开线花键的设计及开发阶段的研究,对花键的参照标准的选取,花键的相关计算优化及测量,以及测量用的工装夹具等方面的研究情况,并分享了我们的测量方法。提出了要更新测量设备,提高测量精度;需要共同合作,整合软件标准;实行精确计算,去除换算近似等建议。

介绍了纳米计量溯源到国际基本单位制（SI）的传递过程。回顾了国内外计量型扫描探针显微镜（Scanning Probe Microscope，SPM）的工作原理及其溯源性。论述了目前主要纳米计量参数、溯源用标准样本的研究概况。

提出一种外差干涉非线性误差修正方法,采用混频技术将光频信号降低到通用数据采集系统频率响应范围内;采用高速数据采集板实现外差干涉测量信号和参考信号双通道同步实时采集;对采集数据进行光滑处理,滤除高阶非线性误差;解出位移量对应的相位差.试验结果表明,所提出的修正方法可以较好地修正双频激光干涉仪中存在的非线性误差,使外差干涉仪测量不确定度由原来的20nm降低到10nm.

研制了一种基于原子力显微镜的薄膜厚度检测系统.该系统首先绘制薄膜轮廓曲线,根据曲线找到薄膜边界,然后计算镀膜区与无膜区的高度差,得到薄膜厚度.跟台阶仪、光学轮廓仪相比,该系统具有操作简单、抗干扰能力强、精度高的优点.实验表明.该系统有很高的重复性,能够精确测量各种不同性质的薄膜的厚度.

以提高光学系统对测点正焦位置辨识精度为目标分析设计并行像散共焦系统。设计基于远心光路,采用20倍长工作距显微物镜作为系统物镜,采用2片正交对称配置的薄柱面镜组建像散镜组取代探测光路中的管镜,通过对像散镜组参数优化实现探测曲线过零点灵敏度的最大化,并利用像散原理的差动算法有效抑制了光学系统各种噪声和漂移对像散光场稳定性的影响,获得了高灵敏度、高稳定性、较好一致性的全场探测曲线。通过大量实验证明了优化像散镜组参数对提升探测曲线灵敏度的作用,证明了并行像散光场探测曲线有良好的稳定性,全场测点的正焦位置辨识精度能够达到50 nm。

提出了一种将高位移分辨率的压电陶瓷致动器与大驱动力的电磁致动器进行有机结合,实行优势互补的新方法.基于新原理研制的实验样机获得了较好的技术性能指标,即驱动力300N,刚度95N/μm;分辨率1nm;最大位移4μm.研究工作为大驱动力高刚度纳米致动开辟了一条新的途径.

总结了目前制冷剂水合物蓄冷工质的试验研究进展,并分析了各方面的研究成果。在此基础上,重点讨论了制冷剂气体水合物蓄冷工质的替代选择问题以及试验研究方面的新动向。这将有助于研究人员开展进一步的研究工作。