气浮精密定位平台在运动的过程中需要有高的运动精度与良好特性,而决定其运动精度的则为平台的定位精度与重复定位精度.研究了基于PMAC的气浮精密定位平台的精密定位控制技术,利用Renishaw激光干涉仪对精密气浮定位平台的定位精度与重复定位精度进行实验研究,分析在不同反馈传感器、不同控制参数下定位平台定位精度与重复定位精度的影响规律,在此基础上通过统螺距误差补偿与间隙补偿公式换算得出补偿数据,利用补偿数据对定位平台进行误差补偿.研究结果表明,通过对误差补偿方法的使用,定位平台的定位精度与重复定位精度分别提高了80%和20%.

为满足实际生产中对体积小、精度高、配置灵活的精密定位平台的需求,设计了一种基于柔性铰链和闭环控制系统的精密定位平台。该平台具备较大的功能扩展性,对同类设备的生产和制造具有一定的参考价值。

分析两轴高精度定位平台系统的机械本体及控制系统的特点，采用软硬限位相结合的方式解决定位平台限位问题，通过磁性感应簧片和双重触发技术实现回零，采用全闭环控制保证定位精度；同时在分析控制系统的基础上，设计人机操作界面。

针对传统电子显微镜的手动调整平台存在的调节过程烦琐、复杂的问题，研制了一种由步进电机驱动的全自动的XY调整平台。简述了该平台的机械结构和控制系统设计，使用该平台配合自动测量软件能够实现自动检测磁环的外径和内径尺寸，大大提高了工作效率和检测精度。

设计了一种能在单一平面内实现平面X、Y和转角θ方向调整和定位的平面三维精密定位平台,该平面三维精密定位平台采用伺服电机作为驱动源,四套十字交叉导轨作为关键执行机构的结构形式,在研究了其在平面内运动的数学模型和运动轨迹基础上,设计了利用组态网开发的PC控制系统,实现了平面三维精密定位平台姿态的实时检测和快速精确定位。