综述了原子力显微镜(AFM)在光盘质量检测中的应用.AFM能够在nm尺度上直接对光盘及其模板上的信息位几何结构的特征尺寸及其误差进行三维测量,从而可以建立生产工艺参数和信息位几何结构之间、信息位几何结构和盘片电气性能之间的关系,进而找出影响光盘质量的直接原因.用AFM进行光盘质量检测主要有三方面：盘片和模板表面的定性观测;信息位几何结构的半定量分析;信息位特征尺寸的统计分析.定性观测和半定量分析可以对盘片播放的高误差率、凹坑形态和块出错率、凸台形态及其表面粗糙度等参数进行有针对性的检测;而信息位特征尺寸的统计分析则可以对信息位几何结构的关键参数进行面向生产过程的统计分析.所得结论表明AFM在光盘质量检测过程中具有独特的优势.

利用原子力显微镜在纳米尺度上观察了光盘（CD）和数字通用光盘（DVD）的表面微观结构，对沟槽间距、摆动幅度等参数进行了测量，进而就这些参数对存储性能的影响进行了分析。实验结果显示：CD-R和DVD-R光盘上以连续的沟槽取代坑，并组成螺旋状的轨道，DVD-R光盘的信息存储密度更大。光盘轨道间距的变化范围是摆动幅度的4倍。写入后，沟槽的深度明显变深。实验结果同时表明，利用AFM能直接测量光盘上信息位的形貌参数，进而找出影响光盘质量的直接因素。

研究了光盘轴向机械动态特性和聚焦伺服系统的关系,系统研究了影响光盘轴向偏摆各分量对总偏摆的影响,据此建立光盘轴向偏摆的数学模型.根据该模型,分析了几种有代表性的测量方法的优缺点并重点研究了它们各自的测量精度,提出了一种全新的基于激光三角法的测量方法.最后给出了测量结果和结果分析.

分析了光盘盘片轴向抖动及光盘基座振动对光学聚焦伺服的误差的影响，建立了它们的数学模型，获得了频率响应特性，设计了一种在５￣２０００Ｈｚ范围无谐振峰的微型隔振系统。

介绍了光盘注塑模具中气动辅助脱模机构的应用原理与设计方法，该机构有效地减少了光盘脱模时的变形，大大提高了加工精度和生产率。