现代集成电路制造业、数据存储工业和微机电系统等行业的不断发展，对纳米尺度线宽的测量提出了越来越高的要求。目前的一些测量方法分别存在各自的缺点与不足，在缺少更高准确度计量标准的情况下，往往采用比对的方法使计量结果趋于一致。国际计量局在1998年把纳米尺度线宽计量确定为纳米尺度基本特征国际关键比对项目之一。文章对它的主要研究内容以及进展情况作了介绍。

扫描电子显微镜（以下简称“扫描电镜”）是一种被广泛应用于材料微区形貌分析和微小尺寸测量的仪器设备。我国早在1988年就发布了JJG550—1988（（扫描电子显微镜（试行）》检定规程，1996年教委又专门发布了JJG（教委）010—1996（（分析型扫描电子显微镜》检定规程。开展扫描电镜的检定或校准工作，需要借助标准物质，其中包括分辨力标准物质、测长标准物质和化学成分标准物质。特别是测长标准物质，

介绍了作者在测量单纵模激光器线宽参数的过程中，研制的马赫-曾德尔光纤干涉仪，并给出了实验结果。

本文介绍了国外在电子工艺中以激光技术进行激光微调、激光制造集成电路及其检验等应用的状况。

研究并提出一种分析设计Rb气泡原子钟微型Rb-85滤光泡的方法。从量子物理出发，通过为Rb灯的发射光谱引入Lorentzian线形函数，得到一个滤光泡内的光强与入射光强的关系式，其中包含了跃迁系数，频移，谱线宽度等参数，通过研究确定这些参数并最终建立一个具有高吸收效率的滤光泡的理论模型。基于这种方法，我们设计了MEMS滤光泡，Rb-87灯射出的光谱经过该滤光泡后，90％多的α线被吸收，而β线则只衰减不到3％，因此，MEMS滤光泡不仅可以大幅度减小体积与功耗，其滤光效果也更为优越。

提出一种融合共焦显微技术和偏振干涉技术的偏振干涉共焦显微测量方法.利用共焦技术进行准确的焦点定位,以获得最佳的测量光斑;同时,利用照射到台阶边缘的不同偏振方向(平行和垂直于台阶边缘)的线偏振光反射后产生的相位变化不同这一特性,进行边缘定位.相位变化是利用外差干涉测相的方法得到的.这一系统完全符合共光路原则,有很强的抗干扰能力.利用该系统对标准线宽样板进行了测量,测量结果与中国计量科学研究院用原子力显微镜测量的结果,以及厂商提供的可溯源到美国NIST光学线宽标准的测量值都符合的很好;还对同一刻线进行了5次重复性测量,其极限偏差为20 nm.

论述了Rayleigh散射双边缘直接探测激光测风雷达发射激光线宽对探测灵敏度和误差的影响。使用Monte-Carlo方法模拟了大气后向散射回波半高宽（FWHM）和发射激光线宽的定量数值关系。把这个关系拟合为一个二次多项式,计算了由发射线宽引起的测量灵敏度和误差。对于探测波长是355 nm的情况,当发射线宽从单频增加到2 GHz时,后向散射回波线宽从3.853 GHz非线性地增加到5.371 GHz。发射激光线宽的加宽对探测影响很大,当发射线宽从单频增加到2 GHz时,测量灵敏度从0.003 1降低到0.001 9,测量误差从0.323 m/s增大到0.518 m/s,计算中假定探测信噪比和累计激光脉冲数都是1 000。

设计了气动式的石蜡熔融沉积装置,采用正交实验的方法,研究温度t、气压P、喷嘴直径d、喷嘴距离基板高度h和基板移动速度v等工艺参数对熔融石蜡沉积线宽的影响.实验结果分析表明：工艺参数对线宽影响的显著性由大到小依次是喷嘴直径、气压和基板移动速度,最优参数组合为t=80℃,P=0.2 MPa,d=0.4mm,v=5.4mm/s和h=0.3mm;单因素验证试验证实了正交试验结果的正确性.