叙述了几种大平面平面度的测量方法，分析了间接测量法，激光双光束扫描法，激光准直扫射法，衍射平面基准法，液面法等几种方法的特点及其测量误差。

利用激光扫描测头对镜面反射很强的金属曲面进行轮廓测量,是目前形貌测量领域的一个难点。分析了现有的几种激光测头的工作原理并比较了其对金属表面的测量能力。通过构建斜射式三角测头的测量模型,分析系统误差产生的原因并给出补偿算法。对标准球进行测量,实验结果表明该补偿算法的可行性与有效性。

基于激光扫描检测原理，利用分度回转和轴向进给执行机构，通过激光扫描检测系统间接测量刀口尺与被测工件轴线之间的间隙变化，来测量被没轴线对基准轴线的同轴度误差。本文对该系统及其测量方法进行了讨论，并通过实验证实了测量方法的可行性。

主要论述了激光扫描测径仪在线检测系统的工作原理和总体结构设计,探讨了影响系统稳定性和精度的基本因素及解决方法.该系统具有检测速度快、精度高、非接触检测、闭环控制等特点,完全适用于回转体直径尺寸的在线检测和控制.

本文介绍了国外在电子工艺中以激光技术进行激光微调、激光制造集成电路及其检验等应用的状况。

本文以《激光扫描测径仪》。为例,对光电信号处理的光电转换的频率响应和透光物体中心噪声等问题进行了探讨,突破了一些技术难题,实验表明措施是有效的。

本文给出近场光学相控阵扫描的理论分析及计算,并得出结论当相控阵单元规则排列并发生近场干涉时,相控单元的尺寸可取得比波长长,而且相控阵在给定的扫描方向上只有一个扫描亮点.

描述７６ＭＨｚ激光扫描声学显微镜的研究试制工作，介绍了激光扫描声学显微镜的基本结构。测试结果表明，该显微镜的分辩率达３０μｍ，探测深度达２ｍｍ，扫描面积达３ｍｍ×４ｍｍ，并已应用于我层陶瓷电容器的无损检测。最后给一些样品的声学像。

采用锁相环和余弦近似补偿的激光扫描测量直笆，不用Ｆ－θ透镜而达到测量精度。

基于光电传感技术和平行光扫描检测原理,设计了一种透射式激光扫描直径检测系统。该系统利用平行平晶构成透射式激光扫描发射器,在不包含扫描物镜的条件下就能产生高度平行的扫描光束。以FPGA为核心的测控平台包含前端数据处理模块和通讯模块;根据外围计时电路测得的时间参数求出入射光在平晶表面的入射角度,从而得到透射光相对入射光的偏移距离,再经过简单的代数运算得到被测工件的直径。详细论述了系统的检测原理和相关特性,搭建了试验平台,分析和试验结果表明该方法对扫描转台的装配精度要求不高,容易将测量误差限制在±0.008mm以内。