基于微流体芯片技术提出了一种液压油微传感器。微传感器由内嵌硅钢片的平面电感检测线圈与对置硅钢片构成。电感检测模式下对金属颗粒进行检测,电容模式下检测水滴与气泡,实现了对油液中铁磁性颗粒、非铁磁性颗粒、水滴、气泡4种污染物的区分检测。通过实验证明新型结构的微传感器在电感模式下对金属颗粒检测精度的提高,并可以检测到油液中28μm的铁颗粒与85μm的铜颗粒;在电容模式下验证了微传感器在激励电压为2 V、激励频率为0.9 MHz时检测效果最好,并能检测到油液中95μm的水滴和160μm的气泡。该研究在对液压系统的故障预测和故障诊断有着十分重要的意义。

在精密机械加工与装配过程中,工艺要求某些精密零件必须满足一系列的技术参数,这些技术参数直接关系到零件是否满足加工与装配工艺技术要求.本文介绍了一种新研制的以光栅数显表及光栅测微传感器为硬件,基于VB 6.0软件的精密装配零件--平面度仪的智能检测系统.该系统可以准确而高效地检测该精密零件的各项参数,并且可以在线测量,特别适合于实际生产中的质量过程控制.

介绍了微/纳米技术和微型机械技术这一新兴学科的重要意义、主要技术内容和当前国内外研究发展现状。

MEMS技术是一门新兴的技术,近年来,越来越受到世界各国的重视.以下主要阐述了MEMS的研制背景、加工工艺、现状和发展趋势,并对MEMS技术面临的问题进行了简要的讨论和分析.

本文的目的在于优化甲醛气体传感器。微型甲醛气体传感器设计是以石英玻璃当作基材,白金（Pt）被当作微型加热器电阻来加热感测层,并以氧化镍（NiO）薄膜作为感测层。当环境内有甲醛气体存在时,NiO薄膜层上导电度会增加,因而导致感测层电阻值降低。此微传感器,膜厚为0.34μm,在300℃反应时间只需6秒,灵敏度可达13.5 kΩ/ppb,最低侦测限度可以量测到40 ppb。而本研究中针对不同的甲醛气体浓度,分别添加金当其催化剂、玻璃基材上共溅镀氧化镍与氧化铝、并比较有无指叉电极、改变基材温度…等,以提升其氧化镍薄膜感测性能。

提出了一种将铁电材料与MEMS集成的新趋势,并介绍了几种在这种趋势下应运而生的最新的微传感器和微执行器.

被公认为新世纪最有潜力的制造技术之一的MEMS,结合了硅加工制程、X光深刻精密电铸模造成形和精密机械加工等多种微加工技术,可生产出微传感器、微致动器、微系统等组件装置。

微机电系统(MEMS)技术的基础是由微电子加工技术发展起来的微结构加工技术,包括表面微加工技术和体微加工技术.其中体微加工技术是微传感器、微执行器制造中最重要的加工技术.该文主要介绍以加工金属、聚合物以及陶瓷为主的LIGA技术,先进硅刻蚀技术(ASE)和石英晶体深槽湿法刻蚀技术.最后给出用LIGA技术和牺牲层技术制作微加速度传感器的例子.

近年来，以使用半导体制造工艺的微小机械的研究为开端，世界各国积极开展微机械的研究。但是各国各有特点，美国以大学为中心开展以静电微电机为代表的硅微机械的基础研究。欧州以法国为中心利用LIGA工艺技术积极进行微传感器和执行机构的开发工作。日本大学，国家研究机构和企业也在积极进行微机械的研究。

提出了一种液压油污染物多参数测量传感器,该传感器在平面型微流体电感传感器基础上增加了一个单层电感线圈,并将两个单层线圈正对排布在直微通道两侧,在电感参数检测的基础上将两个单层电感线圈等效为一对圆环形电容极板,引入了电容参数检测,从而实现了对液压油中铁磁性金属颗粒、非铁磁性金属颗粒、水滴和气泡4种污染物的检测。对该多参数传感器进行了设计,并结合仿真和实验对检测位置进行了优化,电容参数检测实验实现了液压油中180μm水滴和240μm气泡的区分检测;电感参数检测实验实现了液压油中80μm铁颗粒和150μm铜颗粒的区分检测。该研究对液压油多污染物的区分检测提供了一种新方法。