运动带材在托辊附近的空间分布形态对带材运行安全有着重要影响,针对此,研究了描述带材稳态构型的动边界边值问题,将该问题转化为固定边界边值问题后,采用配置法计算获得带材的稳态构型。给出一组带材构型描述参数,研究了运动带材自身属性及带材工作参数与构型参数的关系。研究表明,带材在带轮附近有隆起趋势,使带材在托辊上的包角减小,对带材的安全运行有不利影响,降低带材的运行速度、减小带材弯曲刚度、增大工作张力、增大托辊直径,有利于缓解此不利影响。带材线密度增大将使隆起高度增加,但隆起段延伸长度将缩短。

本文提出了一种图形化的即时可重构虚拟仪器软件平台IsVIP，它采用开放的组件化体系结构，提供了硬件设备控制台和软件控件2类扩展点，能够实现对任意硬件设备的支持，以及实现任意的软件功能；采用数据流驱动的工作方式，多条数据流可以并行工作；虚拟仪器的功能通过控件以及控件间的连线实现，控件和连线能够在运行时增加或者删除，并立即见效，进而影响仪器系统的人机界面和运行逻辑；支持流水线执行模式，能够以串行结构实现并行效率，具有更高的吞吐率，能够处理更高负荷的数据处理请求。

在应用林尼克结构干涉测量系统进行测量时,发现系统存在一个近似为二次曲面的测量误差。根据光学干涉系统的测量原理,分别对林尼克结构干涉测量系统的相移器误差、摄像机误差和光学系统误差进行了分析,确定光学系统误差是干涉测量系统的主要误差源,其中显微物镜焦点轴向误差是产生系统测量误差曲面的主要原因。以平面为实验测量样件,应用测量系统对参考光臂显微物镜的不同轴向位置进行了测量,通过分析测量结果验证了焦点轴向误差对系统测量误差的影响,并与理论结果进行了比较。

根据光学干涉显微法原理，设计开发了一套微纳结构表面形貌测量系统。该系统采用林尼克干涉显微镜，通过参考镜扫描的方法将扫描器与相移器集为一体，分别采用五步相移算法和基于采样定理的包络均方函数（SEST）算法实现相移干涉法（PSI）和垂直扫描干涉法（VSI）两种模式对微纳结构的表面形貌测量。为验证该系统性能，采用标准多刻线样板和标准台阶作为样件对VSI和PSI两种模式分别进行了测量实验。结果证明，该系统能够完成微纳结构表面形貌的快速精确测量，可以满足微电子、微机电系统中微纳结构的表面形貌测量要求。

概述了微机电系统(MEMS)的发展历史及基本技术原理,介绍了MEMS技术在航空航天、医药卫生、光学器件、微能源等方面的应用情况,并对其以后的发展作出展望.

动态测试对MEMS的设计、制造和可靠性具有非常重要的意义.提出了快速高精度的综合亚像素定位匹配算法,应用于MEMS平面运动测量.该综合算法把标准化协方差相关法、亚像素步长相关法、曲面拟合法、序惯相似性检测算法和单纯形法有机结合,综合运用各算法的优点,达到了提高亚像素定位速度和精度的目的.通过位移测量实验和对硅微陀螺仪质量块面内振动及谐振频率的测量,验证了该综合算法的可行性和有效性.

为使MEMS(micro electro mechanical system)三维静动态测试自动可靠地进行,基于测试系统的测量原理及其精确同步控制要求,提出了相应的计算机同步控制方法.详细讨论了同步控制的设计实现及关键技术.通过对压力传感器膜和硅微陀螺仪的静动态测试,验证了同步控制的准确性和可靠性.

采用CFD Fluent软件对无针注射器的工作全过程进行数值模拟，得到了注射管内药液驱动压强和药液射流速度的变化规律。模拟了药液射流在空气中的演化过程，以及射流穿透皮肤，在皮肤层和皮下组织层扩散的全过程。数值结果与实验定性结果一致。

为实现微/纳结构三维形貌的高精度测量,提出利用显微干涉技术和偏振技术相结合的方法来研制微/纳结构三维形貌亚纳米级精度测试系统。首先,利用五步相移干涉技术采集5幅带有π/2相移增量的干涉条纹图。然后,通过Hariharan五步相移算法得到包裹相位图。最后,利用分割线相位去包裹算法和相位高度关系转换得到微/纳结构三维形貌。在测试过程中通过偏振片产生强度可调的线偏振光,再由1/2波片改变偏振光在分光镜中的分光比,补偿参考镜与试件的反射性能差异,可得到亮度适中且对比度高的干涉条纹图,从而有利于实现微/纳结构三维形貌的高精度测量。系统的轮廓算术平均偏差Ra的重复测量精度可达0.06nm,最大示值误差不到±1%,示值变动性不到0.5%。通过对标准多刻线样板、硅微麦克风膜和硅微陀螺仪折叠梁的三维形貌测量验证了系统的有效性和实用性...