研究了基于调制解调的硅微陀螺仪检测信号提取原理,推导了开环检测传递函数。根据调制解调的频谱转移特性,提出了有效位移噪声是高斯窄带噪声。推导了开环检测时位移噪声的等效角速度公式,分析表明,要提高噪声性能可以减小噪声功率密度、带宽和增加陀螺仪机械灵敏度。同时还推导了闭环检测时位移噪声的等效角速度公式。通过比较开环检测和闭环检测情况下由接口位移噪声导致的噪声等效角速度表明：闭环检测并不能减少由接口位移噪声导致的平均噪声等效角速度。据此设计实际电路,试验结果表明在100Hz频段内,闭环检测噪声谱密度基本等于开环检测噪声谱密度,验证了理论的正确性。

介绍了硅微静电梳状谐振器的静电驱动工作原理，重点提出了基于DSP芯片和DDS技术的智能驱动源系统设计框架。详细分析了数字电路部分的接口技术和模拟电路部分中的微弱信号检测技术。结合实验数据和扫频曲线，指出在不同真空度环境下谐振器的各种扫频方法。

设计了一种单片集成三轴微机械陀螺,制造了一批样机,进行了初步的驱动特性的实验研究,研制结果表明,陀螺性能符合设计要求.

在对某型硅微机械振动陀螺进行大量高低温环境试验的基础上,根据试验数据,建立了一种零偏温度补偿模型,并用该模型对新测的试验数据进行了预测补偿。补偿结果表明：硅微机械陀螺经该模型补偿后零偏可以减少一个数量级,补偿效果明显。

环形管是环形科里奥利质量流量计的关键部件之一,通过合理地选取环形管的结构形状和尺寸,可以使激振模态的固有频率与科里奥利力模态的固有频率很接近或相等,从而达到提高质量流量计的信噪比和灵敏度的目的.为此本文针对环形科里奥利质量流量计给出了其工作原理和用有限元方法对其结构进行数值仿真的结果,同时还指出了在相同的几何尺寸、材料和环境条件下,环形管质量流量计比U形管质量流量计具有更高的灵敏度.

微惯性仪表是一类新型惯性仪表,也是当前研究热点之一。回顾了微机电加速度计及微机电陀螺仪的发展,比较了振动式微陀螺、转子式微陀螺及介质类微陀螺的结构特点,介绍了微惯性仪表及由微惯性仪表组成的微惯性系统在民用领域和军事领域的应用,简要阐述了发展微惯性仪表当前需要解决的关键技术。

介绍了硅微谐振器系统的工作原理,重点给出了一种基于新型的DDS器件AD9954的智能谐振系统设计与实现.详细分析了AD9954作为智能精密驱动源的粗细搜索两种阶段工作流程并给出与DSP器件的数字接口技术.结合实验数据和扫频曲线,得出在不同真空度环境下谐振器的两种扫频结果,并对谐振系统的工作情况给予评价.

本文在简要介绍微机械振动陀螺仪工作原理的基础上,分析影响陀螺仪性能的正交误差所产生的原因,推导其内在的数学机理,并探讨抑制或消除正交误差影响的方法和措施.

微机械陀螺的发展趋势是单片集成的三轴陀螺.由于三轴陀螺有三路测控信号需要处理,如果按照传统的单陀螺的处理方式,则线路过于庞大,相互间的干扰也比较严重.本文针对三轴陀螺的工作特点,基于DSP和ARM设计了新的测控系统,较好的解决了上述问题.初步的实验结果表明此方案是可行的.

文中介绍了扭摆式硅微加速度计的结构原理和对其进行最大灵敏度优化设计的方法，计算结果表明，对硅微速度计的结构参数进行优化，可以最大限度地提高传感器的性能。