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涂陶型吸气热子残气特性及其质谱分析
作者:
尉秀英
秦光荣
王志刚
苑鹏
蒋利军
来源:
真空电子技术
日期: 2023-05-21
人气:37
采用美国"英福康"公司生产的QUADREX-100四极质谱仪对一种全新的涂陶型高牢固吸气热子在真空系统中不同状态下的残余气体分析,并与涂Al2O3型吸气热子进行了同种条件对比测试,证明了涂陶型高牢固吸气热子的可实用性.
关键词:
吸气热子
质谱分析
残余气体
真空系统
真空器件
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