MEMS系统的飞速发展让人们对微尺度领域的研究产生了极大的兴趣。对压力驱动下蒸馏水流过直径20μm微管道的流量一压力、流速一压力特性进行了数值模拟研究。结果表明，在该仿真条件下，蒸馏水的流动规律基本符合宏观条件下的Namer—Stokes和Hagen—Poiseulle方程。在仿真研究中还考虑了重力对流动特性的影响，结果发现，在微米尺度下，重力对流动的流量与速度的影响很小，几乎可以忽略不计。

用原子力显微镜（AFM）考察施加OTS分子润滑膜前后Si（100）表面的粘附、摩擦性能，并对比了空气相对湿度、扫描速度对粘附、摩擦性能的影响效果。结果表明，施加OTS膜后可以有效降低Si（100）表面粘附力和摩擦系数，呈现较好的润滑性能，且受空气相对湿度变化的影响较小。另外，适当提高扫描探针扫描速度，可以改善Si（100）表面和OTS膜表面摩擦性能，降低摩擦力。

粘附现象是微／纳机构中特有的现象，在构件材料强度满足要求的条件下，微／纳机构中的粘附和摩擦是造成其失效的主要原因。如何防止或减轻粘附已成为微／纳机电系统（MEMS/NEMS）领域的研究热点。介绍了缈纳机构中的粘附问题，分析了粘附机理和各种粘附接触模型，说明了表面能法和微凸体积分法防粘附设计微／纳机构的原理，最后阐述了释放干燥工艺、减少实际接触面积和降低表面能等各种抗粘附措施。

随着微机电系统的发展微流动技术作为其重要的分支其研究越来越显得重要.文章主要对硅油在不同的微管内径下的流动规律进行了实验研究以探索微观领域和宏观领域的区别.本实验中采用的介质是高黏度的硅油微管内径分别为50 μm和100 μm管长为40 mm测量了硅油在该微管道中流动的流量和压力特性.在本实验条件下试验结果基本上与宏观流动特性相似流量和液体的压降呈线性关系N-S方程在此实验条件下仍可以适用.

设计了单动薄板液压机的计算机控制系统。介绍了控制系统硬件上的结构和工作原理；同时介绍了上位人机界面的设计和实现数据采集的过程。针对本液压机在压制过程中速度和压力同时变化的特点，采用了对速度分段进行PID控制，实验结果证明了使用该方法控制的有效性，该系统很好地实现了对压边力和冲压速度的智能调节。