介绍了压电陶瓷微位移器驱动电源的闭环反馈控制驱动系统的组成和工作原理,并对控制器的硬件系统构成进行了说明.软件采用模块化设计,可根据实际工作场合通过软件设定为开环控制和闭环控制.在数字控制算法d(t)和可控输出稳压电压源的设计上有所突破.通过合理地设计软件算法d(t)来补偿电致伸缩陶瓷h(t)特性上的缺陷.

介绍了一种智能化通用电动测微仪及其柱式显示方式的设计与实现，阐述了测量的绝对显示方式的原理与标定方法，该设计使测微仪智能化。实用化，并提高了测量效率及测量数据的稳定性，可靠性。

阐述了伺服阀滑阀叠合量间接、气动综合和液动综合测量法的原理和数学模型，分析了它们的优缺点和应用情况。针对流量系数变化影响液动流量式综合测量法精度的问题，提出了根据阀口流态进行补偿的方法，以提高叠合量的液动测量精度。

介绍一种后置节流孔压力式气动测量原理用于伺服阀叠合量的气动测量研制了一台伺服阀阀口加工质量测量仪并实现了微机自动控制。

该文介绍了最新研制的国内首台计算机控制的以航空液压油为测量介质的伺服阀叠合量液动配磨测量台.测量台使用航空液压油采用流量法进行测量,利用计算机测控技术实现了叠合量测量过程的自动化.该测量台具有操作方便、效率高、精度高的特点,可满足伺服阀实际生产的需要.

鉴于气动测量技术既有适合生产现场使用的优点，又有不易实现气电转换的缺点，在提出新的气动测量原理的基础上，利用作感器实现气电转换，再利用单片机系统完成数显和智能化，研制出了用于精密几何量测量的单片机控制气动数显测量仪，该仪器在保留气动侧量仪优点的同时，又增加了数显和智能化的优点，而且具有通用性。实验表明：其最高分辨率为０．１μｍ：精度为±０．３μｍ：量程分３档，最大为５００μｍ。

为提高伺服阀叠合量液动测量的自动化程度、可靠性、精度和效率，研制了新型的叠合量液动测量系统。适应叠合量液动测量要求阀口压力恒定的需要，研制一种定量泵-比例溢流阀控系统。该系统具有可靠性高，响应快，成本低的特点，压力控制精度达到±0．02MPa。液压油的温度直接影响叠合量的测量精度。研制了一种基于压缩机-电加热器的温度自动控制系统，油源温度控制精度为±2℃。最后通过实验验证，该测量系统的叠合量重复测量精度优于±0．5μm，并具备伺服阀滑阀的压力和流量特性的自动测量的新功能。