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大行程纳米级共平面二维精密工作台的研究

作者: 王淑珍 常素萍 谢铁邦 来源:机械科学与技术 日期: 2024-05-02 人气:21
大行程纳米级共平面二维精密工作台的研究
研究开发了一种大行程纳米级共运动平面二维工作台,该工作台采用宏/微两级驱动,宏驱动由滑动导轨、直流无刷电机、精密丝杠组成,微驱动由平行平板柔性铰链和压电陶瓷组成。对平行平板柔性铰链进行了力学分析,并推导计算了其固有频率。工作台移动范围为50mm×50mm,可实现5nm的运动分辨率。工作台在X、Y方向分别装有衍射光栅计量系统,宏微位移由同一套衍射光栅计量系统进行位移计量,计量系统的有效位移分辨率为2.3nm。该二维工作台具有通用化和小型化特点,可以用于微纳米表面的测量与微机电系统的控制与加工。

白光干涉表面结构测量仪的优化设计与应用

作者: 王生怀 王淑珍 陈育荣 谢铁邦 来源:仪表技术与传感器 日期: 2024-03-28 人气:21
白光干涉表面结构测量仪的优化设计与应用
为测量微机电系统的表面结构,研制了一种基于白光干涉法的表面结构测量仪。设计了显微干涉仪,通过实验分析了显微干涉仪关键设计参数中的光源带宽、物镜数值孔径、孔径光阑大小对垂直扫描白光显微干涉测量中干涉条纹光强分布的影响;设计了Z向一维位移工作台,提出了一种以显微干涉图像灰度值归一化标准方差为依据的白光干涉测量条纹自动搜索定位方法。相关实验结果为白光干涉表面结构测量仪的优化设计提供了参考依据。

复合型超精密表面形貌测量仪

作者: 王淑珍 谢铁邦 常素萍 来源:光学精密工程 日期: 2024-03-01 人气:11
复合型超精密表面形貌测量仪
研制了基于同一显微镜基体实现原子力探针扫描测量与非接触光学测量两种功能的复合型超精密表面形貌测量仪。分析了基于白光显微干涉原子力探针的测量方法、探针微悬臂变形量与白光干涉条纹移动量的关系以及探针微悬臂测量非线性误差的修正方法,和通过融合垂直扫描系统的位移量和悬臂梁变形量得到了原子力探针的工作方式。研制了三维精密位移系统和基于白光显微干涉的原子力探针测头。采用原子力探针扫描测量对NT-MDT公司生产的扫描探针校准光栅TGZ2_PTB进行了重复性实验,实验显示标准差为0.96nm,相对重复性误差为3.08%。给出了原子力探针扫描测量、相移干涉测量及白光干涉垂直扫描测量的测量实例。实验结果表明,所研制的超精密表面形貌测量仪可用于超精密加工工程表面、光学表面以及微纳几何结构的测量。

三维精密位移系统的设计

作者: 王生怀 陈育荣 王淑珍 谢铁邦 来源:光学精密工程 日期: 2023-08-12 人气:5
三维精密位移系统的设计
为满足精密位移的需要,研究开发了一种大行程、纳米级和计量型三维精密位移系统。采用模块化结构设计,即3个方向的驱动机构均采用完全相同的设计结构,分别称为X、Y、Z向一维工作台。位移系统在X、Y、Z3个方向采用粗、精两级驱动,并分别装有计量光栅。各方向粗驱动采用交流伺服电机配合精密丝杠和直线导轨进行,精驱动采用压电陶瓷微位移器配合柔性铰链进行,每个方向的两级驱动共用一套计量光栅,从而保证了位移系统的大行程、纳米级和计量型。介绍了位移系统的结构设计,分析了位移系统的位移分辨率、计量原理以及它的运动性能。实验表明,在40mm位移行程内,X、Y和Z向工作台两级驱动实际位移与设定位移之差分别不超过±0.030、±0.028和±0.033μm,验证了位移系统设计的有效性,为位移系统的设计提供了依据。

大量程纳米级垂直扫描系统研究

作者: 王淑珍 王生怀 谢铁邦 来源:中国机械工程 日期: 2023-05-09 人气:3
大量程纳米级垂直扫描系统研究
研究开发了一种大量程纳米级垂直扫描系统,该系统采用粗/精两级驱动,粗驱动子系统由滑动导轨、直流无刷电机、精密丝杠组成,精驱动子系统由平行平板柔性铰链和压电陶瓷组成。对平行平板柔性铰链进行了力学分析,并推导计算了其固有频率。该垂直扫描系统的粗位移和精位移由同一套激光干涉位移计量系统计量。该垂直扫描系统运动范围为0~40mm,运动分辨率为5nm。

千分尺示值误差测量不确定度评定

作者: 王淑珍 张凤霞 来源:品牌与标准化 日期: 2023-04-26 人气:2
干分尺示值误差的测量,依据JJG 21-2008《千分尺检定规程》。其示值误差是通过与标准量块比较测得的。其环境条件为:

垃圾压缩机的剪叉升降机构的设计与分析

作者: 王淑珍 来源:企业技术开发 日期: 2023-03-25 人气:51
垃圾压缩机的剪叉升降机构的设计与分析
全埋地垃圾压缩机的升降机构,通常采用四根支杆的剪叉式机构,该剪叉式机构通常用油缸驱动。文章对垃圾压缩机的剪叉升降机构的几种油缸布置方式进行了对比分析,详细推导了剪叉升降机构驱动力的计算公式,举例分析了剪叉臂的应力分布,提出了等应力设计支杆截面的方法。为垃圾压缩机的剪叉升降机构的优化设计提供了一定的理论依据和实用价值。

不同制取方法对亚麻籽油和亚麻籽粕品质影响研究

作者: 王兴瑞 韩玉泽 王淑珍 李应霞 王进英 来源:中国粮油学报 日期: 2021-10-17 人气:122
不同制取方法对亚麻籽油和亚麻籽粕品质影响研究
以未处理和焙炒处理后的亚麻籽为原料,采用溶剂浸提、液压压榨和螺旋压榨3种制油工艺,得到6种亚麻籽油和粕,探讨不同制取方法对亚麻籽油和亚麻籽粕品质的影响。结果表明:焙炒溶剂浸提法样品出油率最高(34.50%);在3种制油工艺中,焙炒处理后制得的亚麻籽油过氧化值和酸价均高于未处理组,但焙炒前处理可以提高亚麻籽油中总酚和维生素E含量;此外,制取工艺对亚麻籽油的氧化稳定性也有一定影响,其中螺旋压榨油氧化稳定性最好,且同种制取工艺间焙炒前处理可以增强亚麻籽油的氧化稳定性;制取工艺和焙炒前处理对亚麻籽油中亚麻酸含量和不饱和脂肪酸含量影响不显著,但焙炒处理组中的吡嗪、吡咯物质分别比未处理组高5.1%、15.8%、9.3%,未处理组中的醇类物质分别比焙炒处理组高6.1%、11.8%、3.7%。不同制取方法得到的亚麻籽粕中,未处理液压粕粗脂肪、...

油田油井套管油气回收泵罐车的改装探讨

作者: 王翠萍 张典勇 陈庆红 王淑珍 来源:机械工程师 日期: 2021-02-17 人气:67
油田油井套管油气回收泵罐车的改装探讨
针对中原油田油井套管油气浪费严重的情况,介绍了一种套管油气回收泵罐车的改造方案及其操作方法。
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