围绕基于迈克尔逊干涉仪傅里叶变换光谱仪的动镜支撑机构——柔性铰链机构的柔节疲劳寿命问题，先通过相关公式计算选取出机构柔节的各个参数，并由这些参数建立机构的有限元模型；然后再根据材料属性参数，利用疲劳分析软件msc．fatigue，通过拟合疲劳寿命S-N曲线来对机构的柔节参数进行仿真验证。从分析结果可知：柔节破坏点的寿命循环次数均为5．83×10^5次，在Nf（1×10^5～1×10^7）范围之内，属于高周疲劳范畴，材料在此寿命循环次数内处于弹性范围，应力与应变成正比。验证了柔节各参数及材料的合理性，进而了解整个机构的寿命情况。

基于微透镜阵列多视角成像特点，利用几何光学原理，提出一种对物体进行三维数字成像的重构算法。利用这种算法，对CCD相机捕获到的基元图像阵列进行重构。与传统的利用光学系统对物体进行重构的方法相比，该算法不再受到重构过程中遇到的杂光以及衍射效应等因素的影响，具有实时性好、清晰度高的优点。搭建了基于微透镜阵列的三维数字成像系统实验平台，利用此算法对实验中获得的骰子基元图像阵列进行重构，成功地重构出原始物体的三维立体图像，在理论上和实验上证明了这种重构算法的有效性和可行性，并对实验中影响成像质量的因素进行了分析。

针对90nm节点光刻投影镜头中使用的非球面存在高次项,且与理想球面偏离量较大的特点,基于像差补偿理论,设计了一种三片式结构的Offner补偿器来实现非球面的高精度检测。采用等量轴向球差补偿非球面各阶系数的方法,主动引入一定量的轴向球差,补偿光线在非球面法线方向的偏离量。结果表明,初级像差和高级像差可很好地平衡,使剩余像差很小;MTF远远超过衍射极限;系统工作波长为632.8nm,F数为1.64,均方波差RMS〈λ/1250;系统轴向像差〈0.47μm,满足基本干涉成像条件;各方面指标均满足高精度检测补偿器的设计要求。最后,根据现有检测装置的精度对所设计的结果进行了公差分析,给出了较宽松的公差容限。公差分配后,系统综合残余波像差〈0.00727λ,满足系统装调精度要求。

在傅里叶变换光谱仪研制中,基于迈克尔逊干涉仪的动镜机构研制是技术难点之一,而柔性铰链机构则是动镜机构的核心部分。利用简单的平行两杆机构为基体进行复杂化设计,得出一种新型柔性铰链机构并对其进行原理分析,利用有限元分析软件Patran和Nastran对其进行模拟计算,并和传统的平行两杆机构理论计算结果进行分析比较。结果表明,新型柔性铰链机构不仅使动镜的垂直耦合位移量缩小到原来的1.4%,而且将动镜的运动自由度有效地降至一维,为后续研究者提供参考。

本文介绍了一种应用光谱分析快速测量物体颜色的方法.应用CCD接收携带颜色信息的光谱反射率或光谱透射率,经DSP处理得到颜色三刺激值.本仪器测量颜色快速、准确、体积小携带方便,可以应用于印染等需要实时颜色测量的领域中.

对红外傅里叶变换光谱仪动镜支撑机构的核心部分—柔性铰链机构进行了研究。以柔性单补偿杆式机构为基体,设计出一种柔性双补偿杆式机构。利用有限元分析软件Patran和Nastran对其进行了模拟计算,并和目前国内最好的柔性单补偿杆式机构进行比较。然后,根据模拟计算得出的结构参数加工出简易实物,并对实物进行了实验测试及误差分析。结果表明,在模拟计算中,柔性双补偿杆式机构使动镜的垂直耦合位移缩小为柔性单补偿杆式机构的6.8%;误差分析认为柔节的长度公差是引起动镜垂直耦合位移的一个重要因素。因此,若要提高动镜支撑机构的精度,加工时必须严格控制与柔节相关的尺寸公差。

该文介绍一种新的液压阀泄漏量测试方法，并对测试系统原理和理论计算来阐述测试方法的正确性。该方法可以方便液压阀出厂测试，提高操作效率，希望对液压阀测试方法的标准化有推进作用。

该文介绍一种恒压变量泵的节能应用，对该泵在系统中的应用原理，及节能调节方式做出详细阐述。该节能泵运用在试验台测试系统中，可提供系统所需的压力和流量的液压回路，避免了不必要的能量损失，效率远高于常规液压系统。