激光技术在电子工艺中的应用
本文介绍了国外在电子工艺中以激光技术进行激光微调、激光制造集成电路及其检验等应用的状况。
三坐标测量机的现状和发展动向
本文介绍了三坐标测量机的机械结构、新材料和新技术、测头、计算机数控系统、误差补偿及改装的现状和发展动向.
微位移机构综述
微位移技术是精密机械和仪器实现高精度的关键技术之一.介绍了一些典型的微位移机构的结构、原理、特点和应用,并对这些机构进行了比较分析,最后介绍了应用实例.
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