在量子隧道效应的基础上，建立了适用于增坦表面的扫描隧道显微镜微观轮廓测量的数学模型，并采用傅里叶变换方法对该模型进行了仿真验证。仿真结果表明，该模型较好地反映了扫描隧道显微镜对样品表面轮廓的测量过程。最后，文中还对该模型的适用范围进行了讨论。

介绍了一种采用线热源法测量材料导热系数的智能化系统。论述了系统测试原理和软硬件结构，该系统具有测量精度高、自动化程度高和操作方便等特点。测试结果表明，本文设计的硬件电路可靠性高、软件算法合理、具有一定的普遍性，可应用到其它智能化仪器仪表的设计中。

对由压电陶瓷的压电误差造成的扫描探针显微镜扫描器的运动误差进行了较详细的实验研究和理论分析，分析了各项误差的产生原因及其实验现象，据此可对误差进行判断和修正。

在大气环境中用ＳＴＭ进行纳米级超微加工，以高定向热解石墨（ＨＯＰＧ）和金薄膜作为样品，通过在ＳＴＭ探针和样品之间施加一定的脉冲电压制造出了尺度在纳米量级的结构，还对所形成的结构特征进行了分析，总结出部分规律。