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检测微表面形貌的Mirau相移干涉轮廓仪

检测微表面形貌的Mirau相移干涉轮廓仪
基于Mirau双光束干涉,研制了检测微表面形貌的Mirau相移干涉轮廓仪.柯拉照明提供被测面均匀的照明,干涉成像系统是长工作距无限筒长干涉显微镜结构,由Mirau干涉物镜和镜筒透镜组成.物镜由光焦度较大的正光组和光焦度较小的负光组组成.轮廓仪的放大率为-10,数值孔径为0.3,工作距5 mm,视场0.64×0.48 mm2,中心遮拦0.129.相移器为电容式闭环控制的压电陶瓷传感器.通过6幅光纤连接器端面的干涉图,经6步相移法得到其表面形貌.实验结果表明,Mirau干涉轮廓仪的横向分辨率为0.875 μm,垂直方向的测量范围为5.3 μm,重复测量精度为1.7 nm.

微形貌光电观测镜的光学系统设计

作者: 刘娜 景超 张红霞 张以谟 井文才 周革 来源:光电工程 日期: 2024-09-04 人气:14
微形貌光电观测镜的光学系统设计
针对微小面积及'盲孔'底面形貌,提出了一种基于直接成像原理的多功能光电检测系统.主要阐述了其光学系统设计思路,即内窥式镜头与显微系统相结合,观测与微扫描相结合.物镜部分采用内窥式探头,可深入内径2.5mm的盲孔内部,数值孔径不受微孔尺寸限制,从而提高了系统分辨力,达到600lp/mm.利用平行平板光学测微器,寻找和瞄准微孔内观测表面的微小细节,可将±0.1mm范围内的被观测目标定位到视场中心.

45钢低温电解渗硫表面摩擦性能的研究

作者: 刘瑶 张红霞 朱远志 来源:特殊钢 日期: 2024-08-15 人气:54
45钢低温电解渗硫表面摩擦性能的研究
采用75%KSCN+25%NaSCN+0.9%K3Fe(CN)6+0.1%K4Fe(CN)6+2.5%NH4SCN的盐浴,45钢为正极,高铬不锈钢为负极,190℃±5℃,1 V电压,20 min低温电解表面渗硫方法,在45钢表面形成10μm FeS渗层,并且用M-2000型磨损试验机,金相技术、SEM及XRD等分析仪考察其摩擦性能。结果表明,采用低温电解工艺方法可以在45钢表面制备质量较好的FeS层,具有明显的减磨作用;干摩擦条件下,渗硫表面的摩擦系数是未渗硫表面的60%,在油润滑条件下,渗硫表面的摩擦系数为未渗硫表面的70%;在一定载荷范围内,随载荷的增大,FeS层减磨作用增加。

一种悬臂方形薄平板共振模态理论分析方法

作者: 季业 贾大功 陈志童 张红霞 张以谟 来源:光电工程 日期: 2024-06-27 人气:14
一种悬臂方形薄平板共振模态理论分析方法
为了实现悬臂方形薄板的共振模态分析,本文基于AF-ESPI测量原理和瑞利利兹法对悬臂方形薄板共振模态的理论进行了完整分析,给出前8阶的共振频率和相对应悬臂方薄板的电子散斑共振条纹分布情况。为了验证理论计算的精确性,搭建了振幅波动电子散斑干涉测量系统,并利用该系统对悬臂方形薄板进行模态分析,测量该板的共振频率和振动模态。理论计算的结果和实验测量值对比发现,振动的条纹和理论计算的结果一致,共振频率的测量值和理论计算值之间的相对差值在0.1%~9.1%之间。

微面形貌观测物镜的光学系统误差分析

作者: 宋霄 刘娜 井文才 贾大功 张红霞 张以谟 来源:光子学报 日期: 2024-03-29 人气:18
微面形貌观测物镜的光学系统误差分析
提出了一种非接触内窥式微面形貌探测镜,分析了其光学系统的装配误差对实际成像位置的影响.利用几何光学原理,计算了三种装配误差与实际成像位移之间的关系.给出了满足CCD成像分辨率要求的位置调整范围,推导出透镜的装配误差范围,达到成像清晰、系统分辨率高的目的.

数字化白光扫描干涉仪的研究

作者: 张以谟 井文才 张红霞 李海峰 李朝辉 来源:光学精密工程 日期: 2023-08-16 人气:6
数字化白光扫描干涉仪的研究
研究并设计实现了微形貌测量白光扫描干涉仪系统和光纤偏振耦合点监测白光扫描干涉仪系统.前者采用Mirau相移干涉形式,用压电陶瓷传感器PZT作移项器,主要用于微形貌测量,精度可达nm量级.后者采用光路补偿白光Michelson干涉形式,用格兰棱镜对偏振态进行调整控制,用移动参考臂来补偿由于耦合点所造成的光程差,光纤寄生偏振耦合测试仪的空间分辨率达到50 mm,测量范围达到1 km,探测灵敏度不小于-80 dB(耦合模式与主模式的功率比).

相移干涉三维形貌纳米检测及算法研究

作者: 李朝辉 井文才 周革 李岩 张红霞 张以谟 来源:纳米技术与精密工程 日期: 2023-08-11 人气:4
相移干涉三维形貌纳米检测及算法研究
基于相移干涉理论设计并实现了微平面三维形貌测试系统,针对三维形貌检测解包裹过程中出现的问题,改进了现有的残差点判断法,能够更加准确、快速地确定残差点的存在.对相位解包裹算法进行了系统研究,分析了干涉图中残差对相位解包裹的影响,提出了一种基于二阶导数的区域增长解包裹算法.在实际测量中,最终结果得到了明显的改善,证明了该方法的有效性,提高了系统精度.采用此算法,系统的纵向测量误差小于2 nm.

口腔内窥镜系统的设计与实现

作者: 吴頔 张红霞 贾大功 井文才 张以谟 来源:光电工程 日期: 2023-04-21 人气:6
口腔内窥镜系统的设计与实现
本文设计一种口腔内窥镜,以满足牙科医学应用。整个系统主要由成像系统、照明系统、图像显示及处理系统三个部分组成。系统具有显微放大的功能,并且亮度及色温可调。文中利用光学软件设计、优化了光学成像系统,给出了系统像差曲线,并构造了光学照明系统。论丈结尾使用口腔内窥镜对两种牙齿模型进行了测试实验,系统成像分辨力高于100lp/mm,图像清晰,可以观察到牙齿表面的细节。实验结果表明,系统能够满足牙科医学使用要求。

螺旋离心泵的研究开发现状与展望

作者: 杨军虎 王国栋 张红霞 吴俊辉 来源:液压与气动 日期: 2020-02-27 人气:220
螺旋离心泵的研究开发现状与展望
螺旋式离心泵是运用螺旋、离心的原理研制的新型结构杂质泵。该泵具有良好地无堵塞、不损伤性能,并且还拥有强制进料无过载、恒定高效耗能低、耐磨损使用寿命长等优点,因而是水产、化工、轻工、环保、矿产等行业的理想设备。该文介绍了螺旋离心泵的结构和原理,总结了螺旋离心泵的国内外研究现状,并主要介绍了螺旋离心泵核心部件——叶轮和其型线的研究开发现状并对下一步的研究方向作了深入的剖析,为以后的研究奠定了理论基础。

液压系统的噪声及解决办法

作者: 张红霞 来源:煤矿现代化 日期: 2018-12-20 人气:148
液压系统的噪声及解决办法
文章介绍了液压系统中引起噪声的原因主要有电压波动引起的噪声、机械系统、负载和流量变化引起的噪声等等这里重点分析了在制造和装配过程中产生噪声的原因及解决方法.
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