为了满足半导体加工等行业的超洁净流控要求,设计了一种超洁净磁悬浮针阀。超洁净磁悬浮针阀以超洁净氟塑料裹覆永磁体为阀芯,以电磁铁为外部驱动,利用磁悬浮原理实现阀芯的无接触控制。阐述了该磁悬浮针阀的工作原理,通过仿真计算,提出电磁铁的设计方案,对电磁铁的线圈和铁芯进行优化,为阀的力学性能和尺寸特征优化提供了方法指导,并针对阀芯受到的径向力和轴向力进行了分析,验证了方案的可行性。

文章介绍了已在成批生产的医疗仪器中采用的半导体激光电源电路，以及电路的调试方法。

针对半导体制冷散热器存在的问题，采用热管技术加以解决。分析比较了超片式散热器和热管式散热器的传热性能，归纳出采用热管式散热器的优点。

扫描SQUID探针显微镜成像技术在半导体样品检测中得到了广泛应用。利用有限元分析方法对作为fluxguide的探针结构和SQUID的尺寸等参数对于系统空间分辨率和检测灵敏度的影响进行了仿真分析,并研究了探针周围的屏蔽效果。利用建立的SQUID探针显微镜系统成功检测到太阳能电池中多晶硅的细微结构,并通过检测互相垂直的两个方向的磁场,对太阳能电池中光致电流矢量分布进行了反演重构。

介绍了一种光电感应计数系统.它采用光源与计数器分立设计方式,光源采用半导体点光源激光发射器,计数器使用单片机系统.其电路简单、可靠,可以得出较为准确的参数.实验结果证明,该系统能达到较好的计数效果.

传统的夹紧装置采用的是液动或者气动,具有漏油污染或噪音污染.热敏材料体积效应的夹紧装置是通过半导体快速制热、制冷技术,利用热敏材料的体积效应和位移放大器实现工件的夹紧、放松,是一种绿色夹紧技术.

介绍了由分子束外延技术生长的ＣｄＴｅ／ＺｎＴｅ多量子阱光双稳器件的工作原理以及制作、结构、测试方法及测试结果，在５３２ｎｍ波长下两个样品都观察到了典型的光双稳态现象。

阐述了半导体激光技术发展现状,国内测速仪的应用现状、现有激光测速仪存在的弊端.提出了脉冲式半导体激光测速仪具体设计方案,对误差来源进行分析,并采用模数转换技术A/D电路来提高测速精度.

湿法工艺作为半导体工艺的重要组成部分,通过化学品(酸、碱、溶剂等)与超纯水等液体介质,对晶圆表面进行刻蚀、清洗等处理,其制程需避免颗粒、金属、离子、细菌等污染物带来的工艺缺陷。为此,湿法工艺相关的化学品系统、超纯水系统与制程装备均需采用超洁净流控部件,但相关产品被国外垄断,我国对该技术领域的研究仍处起步阶段。该研究首先阐述了半导体湿法制程对超洁净流控部件的需求,剖析了该类部件的主要技术特征。进而,重点介绍了磁悬浮泵、波纹管泵、隔膜阀以及超声波流量传感器等超洁净流控部件的工作原理与发展历程,并分析了其关键技术与研究现状。最后,对超洁净流控技术的发展做出了展望。