本文设计了一种采用表面工艺的微硅隧道加速度变送器,其参数经有限元分析优化,并采用了平头隧道电极,变送器的控制采用"力平衡”方式.设计时重点考虑和成熟工艺的兼容性,其全部微细结构加工都只在硅片的一个表面上进行,无需进行后续组装.

对多种材料的柱塞泵摩擦副进行不同表面的工艺处理,通过磨损试验分析磨损情况及表面工况,寻求适应这一对摩擦副之间的最佳表面处理技术。实验结果表明:38CrMoAlA采用氮化提高其表面硬度;HMn60-3-1-0.75采用喷涂固体润滑膜,二硫化钼的承载能力、与基材的粘结强度高,磨损过程中较难破裂,摩擦学性能最好,且兼具实用性与经济性。

控制或降低液压系统油液的污染度和提高液压元件的污染耐受能力是确保液压系统可靠工作的两个重要方面，本文分析了液压洋所在系统油液污染特性一定时影响泵污染耐受能力的诸我因素，指出了在结构形式确定的条件下设计高污染耐受度液压柱塞泵所要求的摩擦副材料与主要表面工艺。

控制或降低液压系统油液的污染度和提高液压元件的污染耐受能力是确保液压系统可靠工作的两个重要方面，本文分析了液压柱塞泵所在系统油液污染特性一定时影响泵污染耐受能力的诸多因素，指出了在结构形式确定的条件下设计高污染耐受度液压柱塞泵所要求的摩擦副材料与主要表面工艺。