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偏置电压对电容式微机械加速度计的影响研究

作者: 胡雪梅 马林 郭素娜 马瑛 来源:武汉理工大学学报 日期: 2022-12-03 人气:3
偏置电压对电容式微机械加速度计的影响研究
分析了偏置电压对系统的影响,重点研究不同偏置电压设置对电容加速度计的影响,得到一系列变化曲线。最后指出偏置电压极性为正一负设置时,加速度计承受冲击的能力最强。

AFM诱导氧化脉冲宽度与Si纳米加工

作者: 刘庆纲 何博涛 张超艳 祁森 张世林 胡小唐 来源:传感技术学报 日期: 2022-07-23 人气:5295
AFM诱导氧化脉冲宽度与Si纳米加工
通过对利用原子力显微镜(AFM)阳极诱导氧化作用下在硅表面生成纳米氧化结构的特征的讨论,发现通过改变加工时的偏置电压和脉冲宽度,氧化点高度和宽度与所施加偏置电压呈对数关系,氧化点高度与宽度与脉冲宽度呈指数关系;同时发现在环境温度和氧气浓度保持不变的条件下通过改变加工中的相对大气湿度,氧化点结构的高度和宽度随相对湿度的增加而增加.文中对该现象进行了讨论,并对加工条件进行了优化.

振动模式扫描极化力显微镜及其应用

作者: 李晓军 孙洁林 何品刚 方禹之 李民乾 胡钧 来源:金属制品 日期: 2022-07-19 人气:2
振动模式扫描极化力显微镜及其应用
振动模式扫描极化力显微镜采用一种新的扫描探针显微成像方式,它可以在极化力介导的非接触方式和轻敲方式之间自由切换.在极化力介导的非接触方式中,极化力叠加在范德华力上,克服了一般的原子力显微镜(AFM)非接触模式中因成像力程太短而不容易稳定的缺点;通过调节针尖的高度,从极化力介导的非接触方式进入到极化力介导的轻敲方式,又能部分消除AFM轻敲模式中毛细力的干扰,还可以用比AFM轻敲模式中最小稳定成像力更小的力进行成像.针尖的高度可以通过调节Asp(Amplitude setpoint)或插入扫描高度参数(lift scan height)来控制,这一方法简单易行.利用这一模式对胶体金颗粒和DNA的高度进行测量,在一定程度上证明了轻敲模式中针尖压力的确会造成柔软生物样品的变形.

AFM在不同参数下实现阳极氧化纳米加工

作者: 孙志 秦水介 来源:半导体技术 日期: 2022-07-03 人气:5
AFM在不同参数下实现阳极氧化纳米加工
用原子力显微镜(AFM)研究了电场诱导氧化理论以及偏置电压和脉冲时间对加工结构尺寸的影响。通过实验得出了偏压、脉冲时间越大,加工尺寸越大的结论。并总结出氧化加工Si较好的参数范围。
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