提出了一种利用微波谐振器散射参数的幅度信息测量无载品质因素的方法。该方法认为在谐振点附近，耦合电路的参数和谐振器的参数相比可以忽略，因此采用简化的等效电路模型，利用谐振点附近的标量散射参数测量值来计算无载品质因素。计算时抛弃了谐振点附近很小一个区域内的数据和远离谐振点的数据，消除了测量频率离散误差和耦合电路引入的误差。选取无载品质因素曲线平缓部分进行平均作为测量结果，测量精度接近临界点法。

谐振式微机械加速度计直接输出频率信号,具有稳定性好、精度高的特点。分析了谐振式微机械加速度计的工作机理,建立了第一级敏感结构、杠杆机构和第二级敏感结构的数学模型,指出了实现高灵敏度加速度测量的关键技术在于支撑梁、质量块、谐振器和杠杆机构的设计。提出了一种谐振式微机械加速度计结构,进行了结构的优化设计和仿真计算,得出的性能指标：谐振频率98858Hz,Q值673.9,灵敏度24.52Hz/gn。

基于谐振式加速度计的工作原理和结构特点,设计了一种新型微加速度计谐振器,用解析法和有限元法计算了谐振器的横向驱动力以及其处于谐振状态时的检测电容值。综合粘性阻尼、运动阻尼和气膜阻尼,分析了谐振器在大气环境下的阻尼和品质因子。应用MEMS（microelectromechanical system）工艺,完成了微加速度计谐振器的制作。测试结果表明：谐振器性能良好,谐振频率为54523.5 Hz,与设计的理论值误差约为13.6%。

为了提高硅微谐振式加速度计性能,从一种基于DDSOG（Deep Dry Silicon on Glass）工艺的硅微谐振式加速度计样机入手,介绍了加速度计的结构、加工方法和接口电路。该谐振式加速度计结构包括敏感质量块、谐振器和微杠杆3部分,采用差动结构来减小共模误差的影响。接口电路中采用了自动增益控制电路来稳定谐振器的振幅,成功实现了谐振器的闭环自激振荡和频率检测。分析了谐振式加速度计频率输出与加速度输入的关系,测试了硅微谐振式加速度计样机性能,结果为量程±50g,标度因数143 Hz/g,零偏稳定性1.2 mg,零偏重复性0.88 mg,阈值170μg。文章最后提出,DDSOG工艺中采用的玻璃材料和硅材料温度系数不同,影响了加速度计的温度特性,因此需要进步一改进加工工艺。

为设计制作高灵敏度、高稳定性的谐振式微加速度计,基于微制作工艺,采用柔性铰链机构和双端固定音叉谐振器设计了微加速度计结构;分别用解析法和有限元方法分析了加速度计的理论灵敏度,同时进行了谐振器结构优化设计;根据检测原理设计制作了测试用电路板,给出了开环谐振频率测试结果以及闭环时加速度测试结果。测试结果表明所设计的谐振式加速度计工作稳定,灵敏度约为55.03Hz/g,分辨力约为182×10-6g。

1微机电谐振气相色谱检测器 微型谐振器是一种高灵敏、实时、原位质量感应器件。在真空条件下，微型谐振器的检出限可达10^-21g；在大气环境中，其检出限也可达10^-18g。目前，谐振器是单细胞、单分子等高灵敏检测领域的研究热点，也是未来便携气相色谱的一种潜在的理想检测器。

分析了硅微谐振式加速度计的两个谐振器在谐振频率相交点附近区域产生耦合的原因,设计了一种新型的不等基频硅微谐振式加速度计,并对其进行了有限元仿真。该加速度计由质量块、放大惯性力的杠杆机构以及一对尺寸不同的谐振器组成。采用DDSOG工艺加工。利用ANSYS有限元软件进行仿真,结果表明加速度计上谐振器的谐振基频为124 678 Hz,下谐振器的谐振基频为125 855 Hz,频率差为1 177 Hz,在全量程范围内谐振频率不相交,可以很好的消除两个谐振器之间耦合的影响,去除了测量盲区;该加速度计的标度因数为92 Hz/gn,量程为±10 gn。