介绍了一种结构新颖、启闭特性好、调压偏差小、调压精度高、响应速度快、通流能力强、泄漏少、整个体积也小、安装简捷方便、适合于激光平地机液压控制装置使用的螺纹插装式差动溢流阀。

为了提高硅微谐振式加速度计性能,从一种基于DDSOG（Deep Dry Silicon on Glass）工艺的硅微谐振式加速度计样机入手,介绍了加速度计的结构、加工方法和接口电路。该谐振式加速度计结构包括敏感质量块、谐振器和微杠杆3部分,采用差动结构来减小共模误差的影响。接口电路中采用了自动增益控制电路来稳定谐振器的振幅,成功实现了谐振器的闭环自激振荡和频率检测。分析了谐振式加速度计频率输出与加速度输入的关系,测试了硅微谐振式加速度计样机性能,结果为量程±50g,标度因数143 Hz/g,零偏稳定性1.2 mg,零偏重复性0.88 mg,阈值170μg。文章最后提出,DDSOG工艺中采用的玻璃材料和硅材料温度系数不同,影响了加速度计的温度特性,因此需要进步一改进加工工艺。

介绍了一种结构新颖、启闭特性好、调压偏差小、调压精度高、响应速度快、通流能力强、泄漏少、整个体积也小、安装简捷方便、适合于激光平地机液压控制装置使用的螺纹插装式差动溢流阀.