正弦力校准中质量块加速度分布影响的理论修正研究
通过理论分析得到质量块加速度分布影响的理论修正公式,并利用有限元法验证了理论公式,同时对实际应用中理论公式的修正偏差作出估计,为动态力校准的不确定度分析提供了可靠依据。
拉曼光谱应用于硅微悬臂梁的应力特性测试
介绍了一种基于拉曼光谱频移来实现微结构应力测试的方法.利用该方法,实现了怂标准体硅腐蚀工艺形成的八梁支撑的微悬臂梁中应力分布的测试.测试结果表明EPW体硅腐蚀形成的梁-质量块系统中梁与质量块上存在40~160MPa的张应力,微梁上的残余张应力平均达到100MPa;对微结构上的不同位置,边缘的残余应力普遍要比中心位置的大一些.
加速度计在测斜仪中的应用
随着国民经济建设的发展,需要使用测斜仪的工程日益增多,例如水库土石坝工程,城市高层建筑基础地坑挖掘工程,露天矿床开采工程等等。所谓测斜,即土体岩基监测基准面相对原始位置的倾斜变形的测量。测量地球重力加速度矢量相对被测基准面之间的位置参数是测斜的基本原理,从悬吊重锤用肉眼瞄堆直到目前最先进的力平衡伺服加速度计测斜仪都是基于这一原理。
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