提出基于模糊神经融合的自适应模糊分散控制系统，以对超精密机床进行振动主动控制，该控制系统在自适应模糊逻辑的基础上融合了学习过程模糊调整，因而同时具有模糊逻辑和神经网络的优点，实验结果表明，该控制系统能有效地隔离来自基础的低频振动，改善了超精密机床的加工精度和表面粗糙度。

本文以ＨＣＭ－Ｉ型亚微米超精密车床为研究背景，在分析了机床结构与振动的基础上，建立了机床主动隔振系统的力学模型。通过几种作动器的性能对比选择了磁致伸缩作动器为执行器。通过反馈控制分析和实验，表明：采用主动隔振可以明显提高机床减振性能，尤其对低频隔振效果较好。

分析了时滞现象在以绝对变量反馈和相对变量反馈条件下，对超精密机床 振动主动控 制的影响。在相对变量反馈条件下，通过合适的增益选择，即可保证系统的稳定性，又能大 大降低振动传递率。因而，超精密机床的加工精度得到有效的改善。

为减小在超光滑表面制造中对经验的依赖，为提高加工精度及重复精度，研制了采用锡磨盘的超精密平面研抛机。该机床集超精密车削与超精密研抛于一体，可以进行基于多种基本原理的超光滑研抛实验研究。介绍了超精密平面研抛民体设计方案主要包括机床的主精度设计的指导思想、关键部件的结构与驱动系统的方案选择以及机床的外部环境设计。

超磁致伸缩材料的简称为GMM,其是一种能够实现电—磁—机械能转化的新型材料,基于GMM伸缩性能的优势,逐渐被军事、航天以及机械工程等行业采用,尤其是当前的机械电子工程领域,采用GMM这种材料能够实现相应研发设计的进一步提升。文章首先阐述了GMM的优势性能特点,其次对GMM在机械电子工程中的实际应用展开了探讨。