本文以ＨＣＭ－Ｉ型亚微米超精密车床为研究背景，在分析了机床结构与振动的基础上，建立了机床主动隔振系统的力学模型。通过几种作动器的性能对比选择了磁致伸缩作动器为执行器。通过反馈控制分析和实验，表明：采用主动隔振可以明显提高机床减振性能，尤其对低频隔振效果较好。

设计了一种以柔性铰链为运动副，磁致伸缩作动器为驱动支杆的并联微动机构。运用三维设计软件SolidWorks建立部件和整体模型，并运用SolidWorks内嵌的有限元分析软件COSMOSXpress对柔性铰链进行有限元分析，优化其结构和尺寸。采用SolidWorks的另一插件COSMOSWorks对驱动支杆进行固有频率分析，并对整体机构进行刚度分析和安全校核。结果证明COSMOS可以指导设计改进，提高设计的准确性和可靠性。

Preisach算子是一种适用于迟滞特性建模的通用数学工具.利用该算子建立了磁致伸缩作动器的模型,并推导了相应的数值计算公式.对于作动器的轨迹跟踪控制问题,提出了一种基于模型近似线性化的前馈控制方法.实验结果表明该模型可以较好地反映作动器的迟滞特性,利用其数值计算方法求解作动器的输出有较高的精度,满行程位移误差达1.2%;所提出的控制方法有较理想的控制效果,位置控制误差约为3.4%.