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基于误差递减修正法的非球面超精密加工

作者: 程颖 房丰洲 张效栋 来源:光学技术 日期: 2022-09-07 人气:9172
基于误差递减修正法的非球面超精密加工
误差滤波和分离技术是超精密加工中的关键技术之一。采用误差递减法修正加工路径,利用修正的高斯权函数对测量表面进行滤波处理,设计并完成了整个误差递减系统,实现非球面的超精密车削加工,并在很大程度上提高其表面精度(P-V值)。通过实验验证,利用该加工方法,提高了加工效率,可明显地提高非球面的表面精度,最终达到面形精度小于200nm。
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