基于光谱型白光干涉仪的绝对距离测试研究
采用微型光纤光谱仪记录宽波段(450~900nm)下的光谱干涉图,提出一种解包络线的方法来提取相位主值,同时由总光程差与棱镜折射率成正比的关系进行相位解包裹.由线性关系的斜率和截距分别求解得到棱镜的等效厚度和两参考镜之间的绝对距离.利用该方法测试了参考镜在不同位置处的距离,结果与千分尺数值之间的偏差小于1%,同时获得了99.9%的线性度.还测试了BK7玻璃的厚度,与其他方法相比,其精度达0.21%.分析了影响测试精度的因素,并对测距范围进行了讨论.
环形子孔径拼接检测大口径非球面镜的规划模型及分析
环形子孔径拼接技术是一种无需辅助元件就能检测旋转对称大口径非球面镜的有效手段。根据该技术的检测原理,从几何光学的角度建立了子孔径规划模型,给出了模型数值求解的具体方法。以一口径为700mm、中心遮拦为160mm、顶点曲率半径为3000mm的抛物面镜为例进行了数值计算,且从物理光学的角度对数值计算结果进行了进一步分析和解释,并进行了初步的实验研究。结果表明,该模型具有较好的预测效果,可为实际检测方案设计提供理论依据,使得检测过程可控、量化和可重复。
干涉图像数字化处理技术
提出一种干涉图像数字化方法,着重介绍图像的对比度增强和轮廓追踪技术,为实现干涉图像的自动测量奠定了基础。
用最小二乘法提高CCD干涉计量的精度
本文针对相位型光栅的面形测量,用最小二乘法做二次曲线拟合,解决了CCD光学干涉计量中像素尺寸以及图像采集卡空间量化误差对测量精度的影响,使干涉条纹定位精度提高一数量级以上。对曲线拟合误差进行了讨论,给出了实测结果。
1阶反馈稳定光纤3×3耦合器干涉测量系统
为了消除环境干扰对光纤干涉测量系统的影响,采用光纤3×3耦合器和光纤光栅构成光路复合在一起的两个光纤迈克尔逊干涉仪构成了光纤干涉测量系统。利用光纤光栅作为反射镜,两个光纤迈克尔逊干涉仪共有几乎相同的光路。其中一个光纤迈克尔逊干涉仪通过一个1阶反馈来补偿环境干扰的影响,实现对该测量系统的稳定;另一个光纤迈克尔逊干涉仪用于完成测量工作。结果表明,1阶反馈可以对0Hz~21Hz的干扰进行补偿,使得该测量系统适合于在线精密测量。
多波长激光绝对距离干涉计量术的原理与发展
绝对距离干涉计量术是60年代后期兴起的一种以多波长激光为基础的无导轨大长度测量技术。本文在详细介绍该技术原理的基础上,回顾了该技术的历史,分析了该技术的发展现状,展望了该技术今后的发展趋势和可能的发展方向。
-
共1页/6条