随着精密和超精密加工技术的迅速发展，亚微米和纳米级的测量方法不断出现，本文对近年几种常见的微纳米计量技术的基本测量原理和方法作了简单的介绍。

讨论了扫描针显微镜作为一种显微工具的优势和不足，介绍了把ＳＰＭ应用于超精密加工检测领域所要注意的问题，指出纳米级加工机理的研究将依赖于ＳＰＭ的复合化及多功能化，只有实现了加工与检测的一体化才能正确评价加工方法及工艺参数的优化选择，从而引导超精密加工的发展。

研究在光学显微镜下,运用两个独立的三维工作台分别控制针尖和碳纳米管的位置,将碳纳米管吸附在传统的原子力显微镜针尖上.首先将碳纳米管粘附在导电的胶带上,然后用涂胶的针尖与其接触将碳纳米管粘附到针尖上,最后运用电蚀的方法优化碳纳米管针尖的长度,以达到高分辨率的要求.运用制作的碳纳米管针尖对硅表面的深槽进行成像,获得了传统针尖无法得到的信息.

提出了采用双路激光-CCD进行在线检测的方法,该方法采用激光三角测量原理,用双路激光-CCD同时对零件进行检测,以减小甚至消除自动输料过程中由振动或跳动等因素给零件带来的测量误差.文中给出了激光-CCD测量零件尺寸的原理,对零件运动过程中厚度尺寸的双路补偿原理进行了理论分析;设计研制了该动态检测系统;并用该系统进行了大量的实验研究,实验结果表明该系统对动态零件的尺寸检测精度达到±0.3 μm,能适用于零件在精密加工及自动化输送过程中的高精度检测,具有很好的工程实用性.