分析现有圆度误差的几种测量方法的优、缺点后,提出一种基于光电扫描和数字图像处理的圆度误差测量与评定的新方法.该方法简便易行,而且测量精度较高,有一定的应用价值.

研究了垂直扫描白光干涉测量数据的改进质心处理算法以准确得到被测表面的微观形貌信息。根据垂直扫描白光干涉测量原理分析了质心算法改进前后的对干涉谱的处理能力。实验测量对象是Ra为0.074μm的多刻线标准样板,采用高斯滤波算法分离粗糙度信号,对其二、三维参数进行了评定和分析,得Ra为0.0748μm。结果证明,改进质心算法原理正确,计算精度满足测量要求,可有效排除直流信号等因素对质心算法的影响。

为实现直线度误差的精密评定,提出自适应迭代区域搜索方法。首先对测量采样数据以第一测量点为原点进行坐标平移预处理,然后计算各测量点与原点连线的斜率分布区间,以此作为初始搜索区间。根据设置的每代候选基准数计算初始搜索步长,以初始搜索区间中线为搜索起始基准线开始搜索计算,可得到当代最小直线度误差对应的评定基准直线,并以其为新一代搜索计算的起始搜索基准线,以新、旧起始基准直线的斜率确定新的搜索区间和搜索步长,以新的起始基准直线开始搜索新一代最小直线度误差对应的基准线,反复迭代计算至终止条件。对两组实例进行了计算。实例验算证明迭代区域搜索方法原理正确、精度较高、运算速度快、简单易于实现。