微型工厂是小型产品制造系统的一个创新概念.本文介绍了微型工厂概念提出的背景和科学意义,阐述了目前微型工厂微型制造系统的研究发展概况,探讨了制造设备与系统微型化技术的关键问题,并且提出了一些需要开展的研究方向.

综述了国内外微机械产品在军事、医疗、航空航天等各领域应用的最新进展；分析了微细切削加工、LIGA技术、准LIGA技术、刻蚀技术及微细特种加工的工艺原理及特点。最后对微机械产品及其加工方法的新前景进行了展望。

将微细铣削技术应用到了带三维微结构的惯性MEMS器件的加工中．该类惯性MEMS器件由高弹性合金制作，特征尺寸在10μm～200μm，加工精度要求在±1μm，而且对加工残余应力有较高要求．利用自行研制的三轴联动微小型精密铣床，在研究了微径铣刀的悬伸量、径向切深、每齿进给量等切削参数对切削力影响的基础上，提出了最佳切削参数，成功实现了该器件的加工，并采用微桥法对其弹性模量和残余应力进行了测量．

分析了HDB3编解码原理，提出了一种适合于在现场可编程门阵列FPGA上实现的HDB3编译码器的硬件实现方案，在FPGA上完成了布局布线和时序仿真，最后给出了仿真和实验结果。结果表明该方案切实可行，编译码器运行稳定可靠，已用于实际项目中。

由于微机电系统（MicroEleetroMechanicalSystem，MEMS）在微小零件加工中存在不足，微细铣削加工作为一项补充技术正在日益受到人们的重视。介绍了研制的微型精密三轴联动立式铣床（300mm×300mm×290mm）的系统构成，开发了中文控制软件并集成了视频采集系统，此设备在薄膜型工件（膜厚65μm）的微槽加工中取得了满意的效果（膜厚方向上材料去除率90．7％，成品率大于80％）。对微径端铣刀进行了力学特性分析，并通过刀具磨损试验分析了微径硬质合金TiAlN涂层及非涂层铣刀的磨损机理。最后通过槽铣硬铝2A12的试验研究了切削用量（主轴转速、背吃刀量和每齿进给量）对微细铣削力的影响，为微细铣削切削机理的深人研究奠定了基础。

介绍了微型机床与微型工厂概念提出的背景和科学意义,综述了目前微型工厂/微型制造系统的研究发展概况,探讨了制造设备与系统微型化的关键问题,指出了一些需要开展的研究方向,并提出了几项建议.

采用分子动力学方法分析了纳机电开关中碳纳米管悬臂梁的静态特性.仿真中C-C原子间相互作用采用Tersoff-Brenner势函数,C-Cu及Cu-Cu间相互作用采用L-J势函数,并同时采用截断半径和邻域列表法以提高运算速度.首先模拟了纳机电开关的开和关两种工作状态,得出开关的闭合电压为1.0 V,然后模拟了碳纳米管的弯曲变形情况,结果表明,当电压小于1.0 V时,碳纳米管弯曲符合经典弹性理论;当电压介于1.0 V～1.9 V时碳纳米管中出现Stone-Wales变形;当电压达到1.9 V后,碳纳米管中逐渐出现塌陷结构甚至孔洞;当电压达到2.9 V时,碳纳米管完全断裂.最后分析了碳纳米管原子间的受力情况,结果表明,纳机电开关的最薄弱环节是电极与碳纳米管之间的结合处.所得模拟和分析结果为纳结构器件的进一步设计和优化提供了理论依据.

提出一种结合AVR单片机和采用FPGA实现直接数字频率合成（DDS）的数字式移相信号发生器的新方案。采用FPGA实现的DDS与专用DDS集成芯片相比，其灵活性更好，可生成任意波形，频率分辨率高，转换速度快，稳定性好，精度高，且均可对频率、相位、幅度实现程控，重要的是他作为IP核具有更大的可移植性。