针对MEMS陀螺中常见的折叠梁结构,建立了折叠梁的理论模型,并在SABER平台上建立了其系统级模型.进而将两根折叠梁相连的模型用于MEMS陀螺的设计与仿真,对其进行频域和时域分析.利用基于ANSYS的有限元仿真结果对模型进行了有效性验证,分析了折叠梁的尺寸参数变化对陀螺谐振频率的影响.仿真结果表明,折叠梁的系统级模型与ANSYS仿真结果的误差小于5%,仿真时间仅200 s,可以在确保仿真精度的前提下,满足MEMS器件快速设计的要求.

基于三维设计软件SolidWorks创建了主轴箱零件实体，实现了各零部件的虚拟装配以及主传动链的传动运动，在虚拟装配时，齿轮配合、凸轮配合等不同于标准配合，除了添加必要的配合关系外还要添加辅助草图。

针对生产线中搬运站对搬运气动机械手的要求,提出触摸屏作为上位机,PLC作为控制器,电磁阀、气缸作为驱动设备的气动机械手控制方法。重点介绍了系统气动原理、硬件构成、软件编程和触摸屏的设计,经过调试试验和应用,系统满足控制要求,具有安全性高、可靠性和稳定性好的优点。