针对非制冷红外热成像中的双材料硅微悬臂梁阵列的结构要求，在MEMS常见加工工艺的基础上，提出了单个硅微悬臂梁的制作工艺路线。工艺中使用高浓度HF溶液释放牺牲层磷硅玻璃（PSG）。探讨了双层材料氮化硅和铝之间的断裂及氮化硅和硅基底之间的粘连问题，对工艺中影响成品率的关键因素残余应力进行了分析。

探讨了微悬臂梁的制作中的牺牲层释放工艺,针对FPA结构中微悬臂梁的结构层和牺牲层材料的选择和制作方法,从释放机理的角度对磷硅玻璃腐蚀速率等释放关键技术作了研究,给出了相应的加工参数。

在聚酰亚胺材料上加工用于喷墨打印头的喷孔时,广泛采用激光打孔后填充亲水聚合物使喷孔内壁具有一定的亲水性,从而有利于提升打印头的工作频率。为了简化喷孔的制备工艺,本文提出一种使用氧气与氩气混合等离子体处理的方法,在引入亲水基团的同时增大表面粗糙度,克服通常等离子体处理中聚酰亚胺表面亲水性随着时间增加而逐渐丧失的局限,以期能够长时间维持亲水性。实验结果表明,经过长时间放置后,聚酰亚胺表面能够维持一定的亲水性,表面的接触角能够保持在50°~60°。最后,通过仿真分析验证了亲水性提升对于喷墨打印中墨滴填充的有利影响,墨滴填充时间由140μs缩短至70μs。