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硅晶圆分层划片工艺试验研究

作者: 尹韶辉 杨宏亮 陈逢军 耿军晓 张俊杰 来源:表面技术 日期: 2020-11-23 人气:115
目的优化硅晶圆划片工艺参数,提高划片质量。方法提出一种硅晶圆分层划片工艺方法,利用自主研发的精密全自动划片机,通过全因素试验,研究了主轴转速、进给速度和切削深度等工艺参数对分层划片与传统单次划片的工艺性能的影响,检测了崩边宽度、相对缝宽、切缝表面粗糙度,通过检测划片过程中主轴电流大小来间接反映切削力的大小。最后对分层划片工艺进行优化试验,得出最佳工艺参数组合。结果随着划片深度的增加,主轴电流增大,进给速度对主轴电流的影响较小,分层划片可以有效减少划片过程产生的切削力,提高划切效果。分层划片试验发现,随主轴转速的增加,相对缝宽增大;随进给速度增大,相对缝宽先减小后增大。进给速度为15mm/s,转速为10000r/min时,相对缝宽最小,为1.048。随着主轴转速的增加,崩边宽度减小;随着进给速度的增大,崩边宽度增大。

基于SIMP材料插值模型的某航炮弹箱传动齿轮轻量化设计

作者: 黄观明 刘明敏 杨宏亮 张海洋 樊永锋 谢锋 葛胜利 来源:机械传动 日期: 2020-09-30 人气:129
为了提高战机的性能,实现航炮轻量化设计的目的,以某航炮弹箱传动齿轮为研究对象,通过基于SIMP(Solid Isotropic Material With Penalization)材料插值模型的拓扑优化方法,建立了以齿轮结构单元密度为设计变量,柔度最小为目标函数,优化前后体积分数百分比和结构平衡方程为约束函数的拓扑优化数学模型,对弹箱传动齿轮进行了拓扑优化研究。根据拓扑优化结果对齿轮进行了结构改进和静力学分析,分析结果表明,在满足结构刚强度以及保持供弹原理不变的前提下,优化后的齿轮结构比初始结构质量减少了15.4%,最大变形减少了14.2%,最大应力增加了20.8%,实现了齿轮结构的轻量化设计。这对于齿轮结构减重具有工程应用价值,并为其他零部件轻量化设计提供了参考。

PP103B型液压冲孔机输出无压力故障诊断及解决

作者: 李红兴 曹婉蕴 邓呈峰 杨宏亮 来源:金属加工(冷加工) 日期: 2019-12-23 人气:158
PP103B型液压冲孔机使用过程中,出现了液压系统输出无压力的故障,通过对液压站压力控制块液压传动系统图分析,找出影响系统失压故障的根本原因是高压溢流阀失控,通过更换高压溢流阀,使故障得以修复、设备得以恢复。

液压缸承受径向载荷的非线性有限元分析

作者: 杨宏亮 彭岩 来源:机械设计与制造 日期: 2018-10-21 人气:46
液压缸承受径向载荷的非线性有限元分析
针对工程实际应用,运用ANSYS软件建立了承受径向载荷的液压缸的有限元模型,通过有限元分析得到了液压杆、活塞、导向套和缸筒的应力及变形后的间隙,保证了液压缸在承受径向载荷时的安全性。
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