针对由超磁致伸缩材料驱动的微泵体积大、流量小的问题提出了一种用于精密输液的基于双平面线圈驱动的GMM薄膜新型微泵采用双平面螺旋线圈作为驱动部件并设计双泵腔以减小微泵的体积、增大微泵流量.该研究对新型微泵结构原理、制备工艺和输出流量进行了分析结果表明该新型薄膜微泵具有输出流量大、尺寸小、易于微型化、响应速度快和精度高等优越性能为微流体机电系统的驱动提供一种新的动力装置.