MOCVD的气动控制回路设计

简介

介绍了MOCVD（Metal Organic Chemical Vapor Deposition）液态源金属有机物化学气相沉积设备，研究设计了基于PLC和触摸屏的全自动气动控制回路，实现了对装置中气动元件的自动控制。该方法提高了MOCVD设备的自动化控制水平和安全可靠性，确保了工艺的重复性和稳定性。