介绍了超磁致伸缩驱动器结构及其内部磁路的设计方法,对采用国产材料研制的驱动器的位移及力的输出特性进行了测试.实验结果表明,该驱动器具有理想的动态和静态输出精度和输出范围,可以用于精密设备的低频主动隔振平台中.

我所主要是从事导航精密设备和精密测量仪器的研发、设计与制造，2008年我们承接了华中科技大学科研项日——柱塞泉的制造加工，其中的关键部件是双轴线交叉轴。该零件技术要求高，制造难度大，两轴线相交9°，K387mm，最大外圆直径210mm，加工质量的好坏直接影响到柱塞泵的工作精度，在我所加工尚属首例。

1 前言 在煤油基础上的磁液密封是20世纪60年代中期由美国研究人员建立的.从此推动了高质量的新材料、新技术和新工艺的发展.在近几年内利用磁液的独特性能已建立了真空、化学和生物工艺用的油、活塞杆的绝对密封的磁液密封和盖、法兰联接件的快卸密封;精密设备和仪器用的防尘密封;工作在蒸汽、海水、温降大的恶劣条件下的有磁液润滑材料的密封轴承部件和齿轮转动装置;新一代技术用的磁控阻尼器、防振器、离合器和制动器;自动化控制和测量系统用的高精度磁液倾角传动器、加速度传感器和小压力降传感器;机械加工材料用的磁选机和工艺手段等.这仅是有效利用磁液的一小部分.

环境振动直接降低精密制造和测量设备的动态性能，成为其性能的主要影响因素。主动减振器用于衰减地基振动和负载直接扰动，以维持精密设备的负载平台的稳定性。主动减振器按固有频率的差异，区分为软式主动减振器和硬式主动减振器。高刚性的硬式主动减振器衰减负载的直接扰动力和结构模态，低刚性的软式主动减振器能较好的隔离地基振动。论述两种类型主动减振器的结构技术的研究成果、研究进展和及其应用。针对精密设备发展对主动减振器的应用需求，对硬式主动减振器和软式主动减振器的结构技术的发展前景进行展望，指出其发展面临的挑战与有待解决的关键技术。