本文针对粗光栅线位移测量系统的误差来源，在大量实验的基础上，经过理论分析，得出细分误差与本底噪声的线性关系式，找到了系统修正误差时的理论依据。同时对系统在细分误差补偿前后作了精度分析。

本文介绍了已经用于激光球面干涉仪中的用锯齿形衍射定向光栅作检测元件的高精度数字位移测量系统,系统用电子运算器修正光栅常数的办法获得了0.1μm的分辨率和在20mm量限内优于0.2μm的精度,这一系统的主要优点是精度高,结构简单,调正方便,缺点是对机械导轨精度要求较高,因此适用于精度高,但量程不太大(例如≤100mm)的位移测量系统.

文章分析了陶瓷涂层液压缸的应用范围，陶瓷涂层活塞杆的加工工艺和技术特点，位移测量系统的工作程序和性能，指出陶瓷涂层液压缸在我国水电工程中已开始应用，其优越的技术性能在其它领域中也有广阔的发展前景。