本文针对粗光栅线位移测量系统的误差来源，在大量实验的基础上，经过理论分析，得出细分误差与本底噪声的线性关系式，找到了系统修正误差时的理论依据。同时对系统在细分误差补偿前后作了精度分析。

本文通过对比现阶段阀门气密封试验的几种常用的检漏手段,介绍了基于超声波的阀门气密封检漏的原理及方案。

以分析小孔气体泄漏产生超声波原理为基础,结合气体动力学理论,推导出一种气体微泄漏的泄漏量超声检测方法,并给出系统设计方案.该系统利用DSP技术对泄漏所产生的超声波信号进行信号分析处理和声压级计算,以实现对气体微泄漏量的估算功能.