文章对光外差、移相、正弦相位调制等几种常见的纳米精度干涉测量技术进行了综述,并介绍了上海光机所的相关工作.

分析了激光自混合干涉仪位移测量误差及特点，提出了干涉仪的设计原则。对激光自混合干涉仪的系统稳定性与测量分辨力进行了实验研究，给出了改善系统稳定性与测量分辨力的有效方法。

基于基尔霍夫定律,利用半导体激光器InGaAs/I及钽酸锂热释电探测器设计了一种实用化的实时测温系统.基于该系统A/D转换器件的分辨率、V(T)-T曲线的温度灵敏度及其与测温范围间的制约关系,确定了系统应选用16位的芯片为其A/D转换器件;基于该系统的测温精度、V(T)-T曲线的相对温度灵敏度及其与波长间的关系,对其工作波长的优化选择进行了进一步的讨论;基于探头的温度分辨力、A/D转换器件的分辨率以及与V(T)-T曲线的温度灵敏度间的制约关系,对其波长带宽的优化设计进行了进一步的分析,并给出了系统在673K～1473K内的测温灵敏度.对系统进行优化设计后,在测温范围的低温段,其灵敏度不低于0.5K;在测温范围的高温段,则不低于0.1K.在673K～1473K内,其测温不确定度不低于0.3%.

半导体激光端点干涉测长法是利用半导体激光频率调制特性的一种在长度的两个端点干涉测量长度的新方法。本文介绍基于这种测长方法研制的半导体激光端点测长干涉仪实验的基本原理，构成，定标方法和测量结果。

分析影响正弦相位调制半导体激光干涉仪测量精度和系统分辨力的因素,提出了用分布布拉格反射半导体激光器DBR LD实现高分辨力亚纳米精度测量的方案.理论计算表明,DBR LD的波长连续调制深度比F-P腔LD高一个量级.指出由于DBR LD的特殊结构可通过简单的反馈回路稳定输出光功率,有效地避免了光强波动对测量精度提高的限制.

提出利用改变半导体激光器温度来改变波长，在相移干涉仪中实现步进相移计量的新方法，利用此法可省去附加相器，使相义结构简单、工作可靠。

分析了电调频半导体激光干涉仪的长度绝对测量原理，介绍了干涉仪的基本结构。实验结果表明，该干涉仪的绝对测量范围０．３－１．５ｍ，测量误差为０．１－０．３ｍｍ。

介绍了一种用于覆铜板厚度检测的光电式非接触测量装置及其工作原理。每个测量点由上下一对测量探头和一套检测处理电路组成。其中，测量探头由一个半导体激光器作光源，面阵ＣＭＯＳ图像传感器按场进行采集，经检测处理电路处理得到物体的位置，再由计算机计算并显示被测物件的厚度。该系统具有测量精度高、体积小、成体低、易扩充测量点等特点。

介绍一种以DSPTMS320F2812控制模块为核心的高精度半导体激光器驱动电源系统的设计。该系统以大功率达林顿管为调整管加电流负反馈电路实现恒流输出，利用DSP内部集成的模／数转换器对输出电流采样，并经过P1算法处理后控制PWM输出实现动态的误差调整，消除电路中的静止误差。为了提高系统的稳定性，在系统中加入过流、过压保护和延时软启动保护等功能。结果表明，输出电流范围在10～2500mA内，输出电流变化的绝对值小于输出电流值的0．1％＋1mA，从而确保了半导体激光器工作的可靠性。

本文设计一各基于数字集成电路的半导体激光器电源，以C8051F020为核心，编程实现数字滤波及防浪涌等智能功能，经实用测试，电源输出电流0-1.5A，系统控制电流稳定，误差小，达到激光电源的稳态精度要求，系统简化了硬件电路，并实现软启动等功能，改善了系统的动态性能。