开发一种生物运动微惯性测量装置,以基于ARM7的LPC2129为核心处理单元,采用MEMS陀螺和MEMS加速度计为测量传感器。该装置实现了对SPC-Ⅲ机器鱼尾鳍拍动参数的精确测量,为活体鱼尾鳍拍动参数测量实验打下了基础。

微机电系统(MEMS)测试的主要目的是为工程开发中的设计和模拟过程提供数据反馈,其中一个重要方面就是MEMS器件动态特性的高速可视化.介绍了一种基于计算机控制的频闪干涉测试系统,用来测量可动MEMS器件的离面运动,实现了纳米级分辨力.该系统采用改进的相移干涉算法,使用一个大功率激光二极管(LD)作为频闪照明的光源,可以实现1 MHz范围内大幅值(十几微米)的微运动测量.这种高离面灵敏度的测量方法特别适合进行微机械(光学)元件的动态特性测量.通过研究一个多晶硅微谐振器的动态特性说明了系统的强大功能.

介绍了MEMS器件的发展历史,国内外研究和应用现状,对国内外差距进行了比较,给出了MEMS 器件今后的一些发展趋势.同时,提出了推进MEMS 器件产业化的建议.

针对桥梁、精密仪器等工程结构的低频振动监测问题,研制了一款短距离无线测量系统。利用MEMS器件实现了低频振动信号拾取。利用nRF24E1无线SOC单片机实现了振动信号的无线传输。利用Visual C＋＋编写了PC机数据采集程序。实验表明该无线振动测量系统对于5 Hz以下的低频振动信号分辨力为0.2 mg,视距无线传输距离为30 m.

为能够实现MEMS器件生产的自动化、柔性化、高速化，研究和设计具有飞行视觉系统的贴片机。该贴片机能够自动找寻器件基准图像信息，在飞行中自动捕获拾取芯片位置的图像信息，求取特征点的XY坐标及角度坐标，并根据计算结果自行规划执行单元的运动轨迹。通过验证，该贴片机能够满足MEMS器件贴片的精度、速度和自动化的要求，可有效提高MEMS器件的生产质量，减少劳动强度，提高生产效率。为MEMS器件生产的自动化提供了解决方案，具有重要的经济效益。