介绍了应用光学干涉原理测量棱镜光学平行差的方法。棱镜可等效展开为玻璃平板,其入射面与出射面的光程差恒定,通过波长调谐方法,改变等效玻璃平板之间的位相差,从而用移相干涉术测量了光学棱镜的光学平行差。介绍了一种立方体玻璃90°偏差测量的新方法,斐索干涉仪的测试光束以45°入射到立方体玻璃内,入射波面经立方体90°二面角自准直反射,与干涉仪参考波面相干形成干涉图。分析了干涉波面与立方体玻璃二面角误差之间的关系,并通过移相式干涉仪给出了实测结果。

移相干涉术易受环境振动的干扰,影响高精度的测量目的.为了进行振动环境下在线光干涉测试,必须采用有效的抗振技术.从移相算法、干涉图采集、光学结构、振动探测与补偿等方面介绍了移相干涉仪抗振技术的研究进展.目前具有抗振功能的移相干涉测试技术日益受到重视.

结合移相式干涉仪主动抗振技术,提出对普通PZT光学移相器进行机械结构的优化,改善其机械响应性能并保证有足够的位移量.作为机电反馈式干涉仪抗振系统的核心部件,改进后的PZT构件用于干涉仪的移相驱动,同时又用作光学相位调制器和振动补偿器.经移相干涉仪的在线测量,PZT移相器达到了1 000 Hz(振动幅度为λ/2)以上的时间响应速度并获得了6 μm左右的位移量,满足了干涉抗振系统的需要.

以压电陶瓷（PZT）微位移器为主要研究对象，引入一种处理静态干涉图的新方法——虚光栅移相叠栅条纹法，设计实验对一台实际使用的移相器微位移旋转误差进行测试研究，对其引起的波面旋转情况进行了定量的计算分析，并给出测试结果．用虚光栅移相叠栅条纹法处理实验中加有载频的干涉图时，不需要使用任何移相器件，可以进行动态位相的检测，整个移相过程用计算机进行控制，避免了引入额外的移相误差．

提出一种微位移器的在线测试方法，记录一组与微位移器位移特性相关的干涉图，截取每幅图中位置相同的一条线，建立干涉图截线法光强数学模型，然后在最小二乘法的基础上引入阻尼因子，通过几步快速迭代就可求出这组干涉图的相位主值，再通过相位解包就可得到微位移器的电压一相位曲线。并在本教研室研制的一台斐索干涉仪上进行了实验，实验结果表明：该方法克服了传统方法速度慢，精度低，标定和在线测试条纹疏密状态不一致的不足，简单易实现，运算量小，迭代次数适中，实时性强，可作为干涉测试中微位移器的在线测试方法。