为实现压电微动工作台的快速准确运动定位，研究了其运动定位模型。压电工作台的运动定位精度主要受工作台动态特性和迟滞特性的影响，在介绍这两类典型特性模型及其适用范围的基础上，提出了能够同时体现压电工作台动态特性和迟滞特性的动态迟滞模型，并给出了采用Prandtl-Ishlinskii（PI）迟滞算子的动态迟滞模型参数辨识途径。以TRITOR100型压电工作台为例进行实验研究，结果表明：当压电工作台在30μm的定位范围内以±900V／s的输入电压速率进行快速运动定位时，动态迟滞模型的模型精度比以往常用的线性动态模型和迟滞模型有较大提高，其平均误差为0．16μm，最大误差为0．38μm，为高性能运动定位工作台控制系统的设计提供了模型基础。

为实现压电工作台快速准确动态定位，建立了其动态定位模型并设计了控制器。通过理论分析提出了能够同时体现压电工作台动态特性和迟滞特性的动态迟滞模型结构方程，并研究了其参数辨识途径，进而给出了采用Prandtl—Ishlinskii（PI）迟滞算子的动态迟滞模型，基于该模型设计了逆模型开环控制器。以扫描电化学显微镜的三维压电工作台为实验对象，阐述了动态迟滞模型的具体建模过程，同时对其开环控制器进行了硬件在回路仿真研究。快速动态定位实验表明，动态迟滞模型的平均误差为0．11μm，逆模型开环控制平均跟踪误差为0．12gm，基本满足压电工作台快速准确动态定位的要求。

针对典型的动态迟滞特征模型,提出了一种新型的迟滞补偿控制方法.通过乘以一个斜率转换因子, 将具有近似线性特性的理想迟滞模型转化成实际的期望输出模型.采用自适应滑模控制原理求取迟滞补偿控制量,以保证实际的迟滞特性能够达到期望的线性输出特性.仿真实验结果表明,该自适应滑模迟滞补偿方法能够有效地补偿动态迟滞特性.