微型燃烧系统的特征长度很小，其流动、传热和燃烧具有的特性，与大尺寸的燃烧系统有许多不同．在进行微燃烧的实验研究中，实现对微燃料流量的精确测量是实验中的关键环节．文章介绍了目前国内对于液体、气体微流量的几种计量方法，并对各流量计的测量原理，测量装置性能进行了评述．供微机电及计量检测领域的工作者参考．

针对微机电系统(MEMS)中微小器件的表面刻蚀沟槽及台阶的测量,研制采用步进电机运动平台和微力电感测头,用变截面片簧作回转运动的测头支撑机构,对运动平台存在的偏心作用力和振动噪声问题做了分析和研究,提出了有效的解决方案。

论述了二阶∑-△调制器的基本原理，将∑-△调制技术应用于微加速度计系统设计，运用冲激响应不变法，建立了系统的离散时间模型。采用最小均方方法，将量化器等效为线性增益与量化噪声的叠加，建立了系统的准线性模型。对系统的频率特性进行了分析，结果表明，基于该技术的微加速度计系统在工作频段内噪声能够得到有效的消除。

本文提出了一种基于MEMS的LED芯片封装技术,利用体硅工艺在硅基上形成的凹槽作为封装LED芯片的反射腔。分析了反射腔对LED的发光强度和光束性能的影响,分析结果表明该反射腔可以提高芯片的发光效率和光束性能;讨论了反射腔的结构参数与芯片发光效率之间的关系。最后设计了封装的工艺流程。利用该封装结构可以降低芯片的封装尺寸,提高器件的发光效率和散热特性。